トップ/企業一覧/キヤノン(Canon)
COMPANY DATABASE

キヤノン(Canon)

i線・KrFステッパーを長年供給する露光装置メーカー。近年はナノインプリント・リソグラフィ(NIL)を量産化し、EUVに代わる新たな微細化ルートとして注目される。

🌐 日本装置メーカー公式サイト

当サイトでの位置づけ

露光装置カテゴリでは、i線/KrFステッパーおよびナノインプリント(FPA-1200NZ2C)という次世代技術の両方を持つ企業として、露光用語から参照されます。

企業の強み

i線・KrFステッパーの世界的プレーヤー
ナノインプリント・リソグラフィ(NIL)の商用化で先行
成熟ノード・パワー半導体・MEMS向けの安定供給力

主要製品・ソリューション

ステッパー

  • FPA-5520iV
  • FPA-6300ES6a

ナノインプリント装置

  • FPA-1200NZ2C

関連装置カテゴリ

DUV露光装置
i線ステッパー

関連用語

露光装置とは →i線ステッパーとは →
キヤノン(Canon) 公式サイトへ

FOR COMPANIES

貴社の情報をSemiraiに掲載しませんか?

無料プランからご利用いただけます。

掲載プランを見る →
← 企業一覧に戻る