当サイトでの位置づけ
露光装置カテゴリでは、i線/KrFステッパーおよびナノインプリント(FPA-1200NZ2C)という次世代技術の両方を持つ企業として、露光用語から参照されます。
企業の強み
i線・KrFステッパーの世界的プレーヤー
ナノインプリント・リソグラフィ(NIL)の商用化で先行
成熟ノード・パワー半導体・MEMS向けの安定供給力
主要製品・ソリューション
ステッパー
- •FPA-5520iV
- •FPA-6300ES6a
ナノインプリント装置
- •FPA-1200NZ2C
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