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ブルカー（Bruker）

科学計測機器・半導体計測装置の世界的メーカー。AFM（原子間力顕微鏡）・X線計測・電子顕微鏡を半導体製造の計測・品質管理に提供。

ドイツ・装置メーカー・公式サイト ↗

当サイトでの位置づけ

Semiraiの計測カテゴリでは、半導体ウェハのナノスケール形状・膜厚・結晶品質を非破壊で測定するAFM・X線計測装置のリーダーとして参照されます。

企業の強み

半導体向けAFM（原子間力顕微鏡）で世界最大手。ナノスケール形状計測に必須
X線回折（XRD）・X線反射率（XRR）による非破壊膜厚・結晶品質計測
Hysitron（ナノインデンター）買収でSiウェーハ機械特性評価も強化

主要製品・ソリューション

AFM

  • •Dimension Icon（最先端AFM）
  • •Innova（産業用AFM）

X線計測

  • •D8 DISCOVER（XRD）
  • •JVX 7300（X線反射率）

ブルカー（Bruker）の製品

Dektak Pro（段差・表面粗さ測定装置）

関連装置カテゴリ

計測装置（AFM・X線）

計測装置は、ウェハ製造プロセスにおけるパターン寸法・膜厚・オーバレイ（位置ずれ）などの数値を精密に測定する装置群です。

メーカー 8 社検査・計測装置

検査装置は、ウェハ製造プロセスの各工程で発生する欠陥を検出し、歩留まり向上と品質保証を実現する装置群です。

メーカー 9 社
半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ
ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、ブルカー（Bruker）を含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。
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関連用語

計測（メトロロジー）とは→検査とは→膜厚計測とは→故障解析（FA）とは→
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