信頼性試験装置は、半導体デバイスを高温・高電圧・温度サイクルなどのストレス条件下に置き、初期故障を加速させて取り除くためのバーンイン（Burn-in）試験や長期信頼性評価を行う装置です。車載・航空宇宙など高信頼性が求められる分野で特に重要です。
アドバンテスト・エアー・テスト・システムズ（Aehr Test）・テラダインが主要メーカーです。SiCパワーデバイスの量産拡大に伴い、ウェハレベルバーンイン装置への需要が急増しています。
信頼性試験は、高温・高電圧・温度サイクル・高温高湿などのストレスを加速的に与え、製品寿命や初期不良を短時間で評価します。代表例がバーンイン（高温で電圧を印加し初期不良をあぶり出す）で、出荷前に潜在不良を取り除きます。
車載・産業・パワー半導体では特に高い信頼性が要求され、試験項目や規格（AEC-Q100等）が厳格です。SiCパワーデバイスの普及で、高温・高電圧に対応した信頼性試験装置の需要が高まっています。アドバンテスト、Aehr Test Systems、テラダインが主要メーカーです。