当サイトでの位置づけ
Semirai の計測カテゴリでは、分光測定を軸に膜厚や光学特性を評価する装置メーカーとして位置づけられます。レジストや各種薄膜の光学的な厚み測定で接点があります。
企業の強み
瞬時マルチ測光による高速分光測定
膜厚と光学定数を同時に評価
ディスプレイ・材料分野で培った計測技術
主要製品・ソリューション
膜厚・光学計測
- •分光膜厚測定装置
- •光学特性評価装置
大塚電子の製品
関連装置カテゴリ
半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ
ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、大塚電子を含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。
関連用語
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