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大塚電子

瞬時マルチ測光システムを核とする分光計測メーカー。分光方式の膜厚測定装置や光学特性評価装置を供給し、レジスト膜や薄膜の厚み・屈折率の測定に用いられる。

🌐 日本装置メーカー公式サイト

当サイトでの位置づけ

Semirai の計測カテゴリでは、分光測定を軸に膜厚や光学特性を評価する装置メーカーとして位置づけられます。レジストや各種薄膜の光学的な厚み測定で接点があります。

企業の強み

瞬時マルチ測光による高速分光測定
膜厚と光学定数を同時に評価
ディスプレイ・材料分野で培った計測技術

主要製品・ソリューション

膜厚・光学計測

  • 分光膜厚測定装置
  • 光学特性評価装置

関連装置カテゴリ

膜厚計測装置
計測装置

📊 半導体製造装置メーカーの世界シェア&カオスマップ

ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、大塚電子を含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。

関連用語

膜厚計測とは →計測(メトロロジー)とは →フォトレジストとは →Low-k絶縁膜(低誘電率材料)とは →High-k誘電体とは →
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