COMPANY DATABASE
アルバック・ファイ
アルバックと米PHIの合弁による表面分析装置メーカー。XPS（ESCA）、TOF-SIMS、走査型オージェ電子分光装置などを供給し、汚染元素の同定や薄膜の深さ方向分析に使われる。
当サイトでの位置づけ
Semirai の分析装置カテゴリでは、表面から数nmの元素・化学状態を調べる装置群を担うメーカーとして位置づけられます。欠陥検査が「どこに異常があるか」なら、こちらは「それが何か」を突き止める側です。
企業の強み
XPS・SIMS・オージェを揃えた表面分析ラインナップ
深さ方向の元素分布分析に対応
微小領域の化学状態分析が可能
主要製品・ソリューション
表面分析装置
- •XPS（ESCA）
- •TOF-SIMS
- •走査型オージェ電子分光装置
関連装置カテゴリ
📊 半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ
ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、アルバック・ファイを含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。
関連用語
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