アルバック・ファイ

アルバックと米PHIの合弁による表面分析装置メーカー。XPS（ESCA）、TOF-SIMS、走査型オージェ電子分光装置などを供給し、汚染元素の同定や薄膜の深さ方向分析に使われる。

日本・装置メーカー・公式サイト ↗

当サイトでの位置づけ

Semirai の分析装置カテゴリでは、表面から数nmの元素・化学状態を調べる装置群を担うメーカーとして位置づけられます。欠陥検査が「どこに異常があるか」なら、こちらは「それが何か」を突き止める側です。

企業の強み

XPS・SIMS・オージェを揃えた表面分析ラインナップ

深さ方向の元素分布分析に対応

微小領域の化学状態分析が可能

主要製品・ソリューション

表面分析装置

•XPS（ESCA）
•TOF-SIMS
•走査型オージェ電子分光装置

アルバック・ファイの製品

PHI nanoTOF 3+（異物・汚染分析装置）PHI GENESIS（表面分析装置（XPS/SIMS））

関連装置カテゴリ

計測・分析装置

計測装置は、ウェハ製造プロセスにおけるパターン寸法・膜厚・オーバレイ（位置ずれ）などの数値を精密に測定する装置群です。

メーカー 8 社検査・計測装置

検査装置は、ウェハ製造プロセスの各工程で発生する欠陥を検出し、歩留まり向上と品質保証を実現する装置群です。

メーカー 9 社

半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ

ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、アルバック・ファイを含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。

関連用語

SIMS（二次イオン質量分析）とは→金属汚染（メタルコンタミネーション）とは→パーティクル汚染（発塵管理）とは→透過型電子顕微鏡（TEM）とは→計測（メトロロジー）とは→

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