イオン注入装置メーカー5社 注目ランキング【2026年】

イオン注入装置市場でも世界首位に位置し、約40%のシェアを保持。Varian半導体装置部門を2011年に統合して以来、低エネルギー・高電流・超高エネルギーの全域をカバーするラインアップを揃える。先端ロジックのフィン形成・GAA構造への対応で技術的優位を維持。AIを活用したドーズ量均一性制御も強み。

フルラインアップ ・ GAA対応 ・ AIドーズ制御企業詳細 →

Applied Materialsに次ぐシェア約30%を持つイオン注入専業メーカー。Purion製品ファミリーは高電流・中電流・超高エネルギーをカバーし、特にパワー半導体（SiC・GaN）向けの深いドーピング技術で高い評価を得る。自動車・産業向け需要の拡大を追い風に2026年も成長が続く。

Purionシリーズ ・ SiC・GaN対応 ・ パワー半導体企業詳細 →

住友重機械工業のグループ会社で、日本のイオン注入装置市場をリードする存在。中電流・高電流インプランターを中心に、国内主要IDMおよびアジアのメモリメーカーへの納入実績が豊富。カスタマイズ対応と充実したアフターサービスで顧客ロイヤリティを維持。

中・高電流 ・ 国内IDM向け ・ アフターサービス企業詳細 →

京セラグループのイオン注入装置専業メーカー。リボンビーム方式の独自技術で均一性に優れた注入を実現し、FPD向けや特殊半導体向けのニッチ市場で安定したシェアを持つ。省エネ・小型化の方向性でも差別化を図っており、日本の精密技術を活かしたカスタム製品開発を強みとする。

リボンビーム ・ FPD向け ・ 省エネ・小型企業詳細 →

太陽電池・HDD向けのイオン注入・スパッタ装置からスタートし、半導体用途へも展開する中堅メーカー。大面積基板・特殊基板への対応が強みで、従来の大手が手を出しにくいアプリケーションに特化。パワーデバイス向け浅い接合形成技術で独自のポジションを持つ。

特殊基板対応 ・ 太陽電池・HDD実績 ・ 浅接合形成企業詳細 →