住友重機械イオンテクノロジー（SMIT）

住友重機械工業グループのイオン注入装置メーカー。中電流・高電流インプランターを主力に、国内IDMおよびアジアのメモリメーカーへの納入実績を持つ。

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当サイトでの位置づけ

Semirai のイオン注入カテゴリでは、国内 IDM 向けの中電流・高電流インプランターを担う日本勢として、Applied Materials・Axcelis と並ぶ選択肢の位置づけで参照されます。

企業の強み

中電流・高電流インプランターの国内主要サプライヤー

国内IDM・アジアメモリメーカーへの納入実績

カスタマイズ対応とアフターサービス体制

主要製品・ソリューション

イオン注入装置

•中電流インプランター
•高電流インプランター

関連装置カテゴリ

イオン注入装置

イオン注入装置は、シリコンなどの半導体基板に不純物イオン（ボロン・リン・ヒ素など）を高エネルギーで打ち込み、トランジスタのソース・ドレイン・ウェル領域の導電型と濃度を精密に制御する前工程の基幹装置です。

メーカー 3 社ビームライン注入装置

ビームライン式イオン注入装置は、イオン源で生成した不純物イオンを質量分析磁石で種別分離し、高エネルギーで加速してウェハに打ち込む装置です。

メーカー 5 社

半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ

ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、住友重機械イオンテクノロジー（SMIT）を含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。

関連用語

イオン注入とは→イオン注入とは→

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