Intevac

ディスク・太陽電池向けPVD（物理気相堆積）装置の専業メーカー。高スループット・インライン式PVD装置で記録媒体（HDD）とソーラーパネル製造を支援。

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当サイトでの位置づけ

SemiraiのPVD・成膜カテゴリでは、HDD磁気ディスク向けの高スループットインラインPVD装置において特化した専業メーカーとして参照されます。

企業の強み

HDDディスク向け高スループットインラインPVDで世界トップシェア

太陽電池（CIGS・HIT）向け蒸着装置でも実績

エンドポイント検出技術と連動した均一成膜技術

主要製品・ソリューション

PVD装置

•VERTEX（ディスク用インラインPVD）
•200 Lean（太陽電池用）

関連装置カテゴリ

PVD装置（Physical Vapor Deposition：物理気相成長）は、真空中でターゲット材料を蒸発・スパッタリングしてウェハ表面に堆積させる成膜装置です。

メーカー 7 社成膜装置

成膜装置は、ウェハ表面に絶縁膜、導電膜、半導体膜などの薄膜を数百ナノメートルから原子レベルの厚さで形成する前工程の重要装置です。

メーカー 9 社

半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ

ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、Intevacを含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。

関連用語

PVDとは→成膜とは→

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