当サイトでの位置づけ
Semiraiのイオン注入カテゴリでは、中電流〜超高エネルギーイオン注入の全レンジをカバーし、パワー半導体・CMOSドーピング工程を支える専業メーカーとして参照されます。
企業の強み
中電流・高電流・超高エネルギー全タイプのイオン注入装置を製造
パワー半導体向け大電流注入装置で強い実績
日新電機グループの高電圧・イオンビーム技術を継承
主要製品・ソリューション
イオン注入装置
- •中電流型（SHX-III）
- •高電流型（LHX）
- •超高エネルギー型（UHE）
日新イオン機器の製品
関連装置カテゴリ
半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ
ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、日新イオン機器を含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。
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