Axcelis Technologies
イオン注入装置の専業メーカー。Purionシリーズで低〜高エネルギーの注入をカバーし、先端ロジック・メモリ・SiCパワー半導体の製造を支える。
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当サイトでの位置づけ
Semiraiのイオン注入カテゴリでは、低エネルギー〜高エネルギーの広い注入レンジをカバーするPurionシリーズが前工程ドーパント制御の代表事例として参照されます。
企業の強み
イオン注入装置のグローバル主要サプライヤー
Purionシリーズによる幅広いドーズ・エネルギー対応
SiCパワーデバイス向け高電流注入に強み
主要製品・ソリューション
イオン注入装置
- •Purion H
- •Purion XE
- •Purion M
- •Purion EXt
Axcelis Technologiesの製品
関連装置カテゴリ
半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ
ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、Axcelis Technologiesを含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。
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