ガラスコア基板とは

Glass Core Substrate

最終更新:2026-10-07・先端パッケージング装置・材料|用語集のExcel・PDF版をダウンロード

定義・解説

ガラスコア基板とは、パッケージ基板のコア材料として有機材料(ABF:味の素ビルドアップフィルム)の代わりにガラスを使用するパッケージング基板です。ガラスは熱膨張係数(CTE)が小さく(シリコンに近い)、高密度・微細なRDL(再配線層)パターニングが可能で、平坦性・寸法安定性に優れます。

IntelはIntel-100G-Glassプログラムとして2024年にガラス基板技術を発表し、2026〜2027年の量産採用を目標としています。従来の有機ABF基板ではコア厚・反り・配線ピッチに物理的限界がありますが、ガラスコアでは配線ピッチを1マイクロメートル以下に微細化でき、2.5D・3Dパッケージングの次世代インターポーザーとして期待されます。

国内では日本電気硝子・旭化成・NECが開発を進め、新光電気・イビデンなどのパッケージング基板メーカーが量産準備中です。製造では超薄ガラス(100〜300マイクロメートル)へのスルーホール形成(レーザー穿孔→めっき)とフォトリソグラフィによる微細RDL形成が核心技術です。AI GPU・HBM積層用インターポーザーへの応用で有機基板を置換する候補材料として注目されています。

図解

ガラスコア基板と有機コア基板の比較
Intelなどが、大型のAI向けパッケージの次世代の材料として開発を進めている。

紛らわしい言葉の切り分け

ガラス基板とシリコンインターポーザー。違いは材料と処理できる大きさです。シリコンインターポーザーは非常に細かい配線を引けますが、300mmウェハの大きさが上限で高価です。ガラス基板は大きなパネルで処理でき、平坦性と電気特性に優れる次世代の材料として開発が進んでいます。 比較記事 →

この用語を扱う職種

後工程(実装・テスト)パッケージ基板エンジニア

設備の製造メーカー

Intel米国

世界最大のCPUメーカー。従来はIDMとして自社プロセスでCPUを製造してきたが、Intel Foundry …

AGC(旭硝子)日本

世界最大級のガラス・化学素材メーカー。半導体分野ではEUVマスクブランク用超低熱膨張ガラス基板の主要サプライヤ…

この用語に関連する製品

型番は各社の公式製品ページで確認したものです。出典のリンクは各製品ページに載せています。

PrimaScan™ POnto Innovation・ウェハレベルパッケージング

デバイスの製造メーカー

Intel米国

世界最大のCPUメーカー。従来はIDMとして自社プロセスでCPUを製造してきたが、Intel Foundry …

TSMC(台湾積体電路製造)台湾

世界最大の半導体ファウンドリ。3nm、5nm、7nmなど最先端プロセスノードで業界をリード。Apple、NVI…

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出典・参考資料

  1. Onto Innovation「PrimaScan™ P 製品ページ」(2026/10/07 確認)
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