GLOSSARY

ガラスコア基板とは

Glass Core Substrate
最終更新:2026-05-20先端パッケージング装置材料

定義・解説

ガラスコア基板とは、パッケージ基板のコア材料として有機材料(ABF:味の素ビルドアップフィルム)の代わりにガラスを使用するパッケージング基板です。ガラスは熱膨張係数(CTE)が小さく(シリコンに近い)、高密度・微細なRDL(再配線層)パターニングが可能で、平坦性・寸法安定性に優れます。

IntelはIntel-100G-Glassプログラムとして2024年にガラス基板技術を発表し、2026〜2027年の量産採用を目標としています。従来の有機ABF基板ではコア厚・反り・配線ピッチに物理的限界がありますが、ガラスコアでは配線ピッチを1マイクロメートル以下に微細化でき、2.5D・3Dパッケージングの次世代インターポーザーとして期待されます。

国内では日本電気硝子・旭化成・NECが開発を進め、新光電気・イビデンなどのパッケージング基板メーカーが量産準備中です。製造では超薄ガラス(100〜300マイクロメートル)へのスルーホール形成(レーザー穿孔→めっき)とフォトリソグラフィによる微細RDL形成が核心技術です。AI GPU・HBM積層用インターポーザーへの応用で有機基板を置換する候補材料として注目されています。

設備の製造メーカー

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