装置制御ソフトウェア・受託開発メーカー6社
装置制御ソフトウェアは、半導体製造装置のチャンバー・搬送ロボット・ガス系・電源などを指示どおりに動かし、プロセスレシピを実行するソフトウェア層です。装置メーカーは機構設計と並行して膨大な制御ソフトを開発する必要があるため、制御系ソフトの受託開発会社に設計・実装・保守を委託するケースが多くあります。マルチチャンバー装置のスケジューリング、上位システムと接続するオンライン化（ホスト通信）、PLCとの連携などが代表的な開発領域です。
主要特徴
よくある質問
装置制御ソフトウェアとは何ですか？▾
なぜ受託開発会社に委託するのですか？▾
装置のオンライン化とは何を指しますか？▾
どのような開発言語が使われますか？▾
メーカー
6社の主要メーカー
半導体製造装置の制御系ソフトウェアを受託開発する独立系ソフトウェア会社。半導体製造装置メーカーとの30年の取引実績を持ち、装置制御ソフト・マルチチャンバー型スパッタ装置システム・装置オンラインシステムなどを手掛けるほか、常駐での業務支援も行う。
- •半導体製造装置メーカーとの30年の取引実績
- •マルチチャンバー型スパッタ装置のシステム開発実績
半導体製造プロセスの歩留まり向上・データ解析・プロセス制御ソフトウェアを提供する専業企業。Exensio®プラットフォームでFab全体のデータを統合し、AI活用による予知保全・歩留まり管理を実現する。
- •Exensioプラットフォームによるファブデータ統合
- •AI/機械学習を活用した歩留まり解析
温度調節器（温調計）を主力とするデジタル制御機器メーカー。多点調節計やプログラム調節計、電力調整器を組み合わせ、装置の温度制御系をまとめて構成できる。
- •温度調節器の専業メーカーとして国内トップクラス
- •多点・多ゾーン制御に強い
計測と制御を軸にした自動化メーカー（旧・山武）。半導体工場ではクリーンルームの空調制御や、装置内の各種センサ・バルブを供給する。
- •計測・制御の専業メーカーとして長い歴史
- •クリーンルーム空調制御の実績
信号灯・積層表示灯と報知機器の専門メーカー。製造装置の状態を現場に伝える見える化機器と、簡易IoT向けの無線・ネットワーク製品を供給する。
- •信号灯・積層表示灯で国内トップシェア
- •ネットワーク対応の簡易IoT製品
省配線システムを手掛ける三菱電機グループのメーカー。2本の伝送線でセンサ・アクチュエータをつなぐ独自方式により、装置内の配線量を減らす。
- •2線式の独自省配線システム
- •三菱電機グループのPLCとの親和性
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