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装置制御ソフトウェア・受託開発メーカー1

装置制御ソフトウェアは、半導体製造装置のチャンバー・搬送ロボット・ガス系・電源などを指示どおりに動かし、プロセスレシピを実行するソフトウェア層です。装置メーカーは機構設計と並行して膨大な制御ソフトを開発する必要があるため、制御系ソフトの受託開発会社に設計・実装・保守を委託するケースが多くあります。マルチチャンバー装置のスケジューリング、上位システムと接続するオンライン化(ホスト通信)、PLCとの連携などが代表的な開発領域です。

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主要特徴

チャンバー・搬送・ガス系・電源を統括し、レシピを実行する装置の頭脳
マルチチャンバー装置ではウェハ搬送スケジューリングがスループットを左右
ホスト通信によるオンライン化でMES・APCなど上位システムと接続
C/C++・C#による組込み制御とPLCラダーの組合せが一般的
装置メーカーが受託開発会社に設計・実装・保守を委託する分業構造

よくある質問

装置制御ソフトウェアとは何ですか?
半導体製造装置のチャンバー・搬送ロボット・ガス供給・電源などを制御し、プロセスレシピを順序どおりに実行するソフトウェアです。装置のスループット・再現性・安全性を直接左右します。
なぜ受託開発会社に委託するのですか?
装置制御ソフトは規模が大きく、装置の世代交代ごとに改修が必要です。装置メーカーは機構・プロセス開発にリソースを集中させ、制御ソフトの設計・実装・保守は専門の受託開発会社に任せる分業が一般的です。
装置のオンライン化とは何を指しますか?
装置を単体運転ではなくファブの上位システム(ホスト)と接続し、レシピ配信・稼働データ収集・状態監視を自動化することです。MESやAPCと連携して歩留まりと稼働率の改善につなげます。
どのような開発言語が使われますか?
装置制御の本体はC言語・C++が中心で、操作画面やツール類にC#が使われます。シーケンス制御部分はPLCラダーで組み、PC+PLC+制御対象という構成をとることが多いです。

メーカー

1社の主要メーカー

リンクプラン日本

半導体製造装置の制御系ソフトウェアを受託開発する独立系ソフトウェア会社。半導体製造装置メーカーとの30年の取引実績を持ち、装置制御ソフト・マルチチャンバー型スパッタ装置システム・装置オンラインシステムなどを手掛けるほか、常駐での業務支援も行う。

半導体製造装置向け開発
半導体製造装置制御ソフト開発マルチチャンバー型スパッタ装置システム開発半導体製造装置 on-line システム開発
その他の制御系システム開発
航空管制支援システム開発旅客運賃自動精算機システム開発PC+target/PC+PLC+target 構成の制御系システム
開発言語・環境
C++/C言語/C#MySQL/PostgreSQL 他DBWindows/LinuxPLCラダー
  • 半導体製造装置メーカーとの30年の取引実績
  • マルチチャンバー型スパッタ装置のシステム開発実績

関連カテゴリ

消耗部品・部品洗浄/再生
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石英・セラミック部品
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