SEMICONDUCTOR EQUIPMENT
装置制御ソフトウェア・受託開発メーカー1社
装置制御ソフトウェアは、半導体製造装置のチャンバー・搬送ロボット・ガス系・電源などを指示どおりに動かし、プロセスレシピを実行するソフトウェア層です。装置メーカーは機構設計と並行して膨大な制御ソフトを開発する必要があるため、制御系ソフトの受託開発会社に設計・実装・保守を委託するケースが多くあります。マルチチャンバー装置のスケジューリング、上位システムと接続するオンライン化(ホスト通信)、PLCとの連携などが代表的な開発領域です。
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主要特徴
チャンバー・搬送・ガス系・電源を統括し、レシピを実行する装置の頭脳
マルチチャンバー装置ではウェハ搬送スケジューリングがスループットを左右
ホスト通信によるオンライン化でMES・APCなど上位システムと接続
C/C++・C#による組込み制御とPLCラダーの組合せが一般的
装置メーカーが受託開発会社に設計・実装・保守を委託する分業構造
よくある質問
メーカー
1社の主要メーカー