消耗部品・部品洗浄/再生メーカー6社

溶射加工の国内最大手。半導体製造装置のチャンバー内部品にイットリア（Y₂O₃）などの耐プラズマ皮膜を施し、パーティクル発生を抑えて部品寿命を延ばすコーティング・再生サービスを展開する。

• •溶射加工で国内最大手のシェア
• •イットリア系耐プラズマコーティング技術

シール材の国内大手。半導体製造装置向けにパーフルオロエラストマー（FFKM）製Oリングなど、プラズマ・腐食性ガス・高温に耐える真空シール製品を供給する。

• •フッ素系・パーフロ系シール材の材料技術
• •半導体装置向け耐プラズマOリングで高シェア

半導体製造装置向けサブシステム・部品・洗浄サービスのアウトソーシング専業企業。AMAT・Lam Research・ASMLなど大手OEMを主要顧客に持つ。

• •主要装置OEM向けガス流路モジュールのトップサプライヤー
• •チャンバー部品の精密加工・洗浄再生サービス

熱電モジュール・シリコン部品・石英ガラス部品など半導体製造装置向けコンポーネントの日本大手。中国での半導体部材生産にも積極投資。

• •サーモエレクトリックモジュールで世界シェア首位級
• •石英・セラミック・シリコン部品の一貫製造

プローブカードの専業メーカー。カンチレバー型から垂直型、MEMS型まで各種プローブカードを供給し、ロジック・メモリ・パワーデバイスのウェハテストに用いられる。

• •カンチレバー型からMEMS型まで幅広いプローブカード
• •多ピン・狭ピッチ化への対応

塗布技術を核とする研磨材メーカー。精密研磨フィルムを自社開発し、ウェハのエッジ・ベベル研磨装置や各種研磨装置と組み合わせて供給する。

• •研磨フィルムの自社塗工技術
• •消耗材と装置を一体で提案できる体制