消耗部品・部品洗浄/再生メーカー7社
消耗部品・部品洗浄/再生は、プラズマやガスにさらされて徐々に劣化する装置内部品と、それらを再利用するためのサービス領域です。エッジリング（フォーカスリング）・電極・シャワーヘッド・各種石英/セラミック部品などは定期交換が必要で、使用済み部品は精密洗浄・コーティング再生・再加工によって再利用されます。消耗部品の交換周期と再生品質はファブのランニングコスト・パーティクル管理・装置アップタイムに直結する重要な領域です。
主要特徴
よくある質問
消耗部品にはどんなものがありますか？▾
部品洗浄・再生サービスとは？▾
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | フェローテックホールディングス石英製品・シリコンパーツ・CVD-SiC | バルカー（Valqua）VALQUA ARMOR（高純度シール） |
|---|---|---|
| 材質 | 石英・シリコン・セラミックス・CVD-SiC | 高純度ゴム |
| 製品例 | ウエーハボート・インナーチューブ・インジェクター | O リング・シール |
| 主要用途 | 成膜・拡散装置の治具・消耗材 | ドライエッチング・CVD・アッシング装置 |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
代表製品・スペック
石英製品・シリコンパーツ・CVD-SiC
薄膜・拡散・搬送・洗浄の治具や消耗材として使われるフェローテックのマテリアル製品。
| 材質 | 石英・シリコン・セラミックス・CVD-SiC |
| 製品例 | ウエーハボート・インナーチューブ・インジェクター |
| 主要用途 | 成膜・拡散装置の治具・消耗材 |
| 材質 | 高純度ゴム |
| 製品例 | O リング・シール |
| 主要用途 | ドライエッチング・CVD・アッシング装置 |
※ スペックは公開情報に基づく参考値です。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
メーカー
7社の主要メーカー
溶射加工の国内最大手。半導体製造装置のチャンバー内部品にイットリア（Y₂O₃）などの耐プラズマ皮膜を施し、パーティクル発生を抑えて部品寿命を延ばすコーティング・再生サービスを展開する。
- •溶射加工で国内最大手のシェア
- •イットリア系耐プラズマコーティング技術
シール材の国内大手。半導体製造装置向けにパーフルオロエラストマー（FFKM）製Oリングなど、プラズマ・腐食性ガス・高温に耐える真空シール製品を供給する。
- •フッ素系・パーフロ系シール材の材料技術
- •半導体装置向け耐プラズマOリングで高シェア
半導体製造装置向けサブシステム・部品・洗浄サービスのアウトソーシング専業企業。AMAT・Lam Research・ASMLなど大手OEMを主要顧客に持つ。
- •主要装置OEM向けガス流路モジュールのトップサプライヤー
- •チャンバー部品の精密加工・洗浄再生サービス
熱電モジュール・シリコン部品・石英ガラス部品など半導体製造装置向けコンポーネントの日本大手。中国での半導体部材生産にも積極投資。
- •サーモエレクトリックモジュールで世界シェア首位級
- •石英・セラミック・シリコン部品の一貫製造
プローブカードの専業メーカー。カンチレバー型から垂直型、MEMS型まで各種プローブカードを供給し、ロジック・メモリ・パワーデバイスのウェハテストに用いられる。
- •カンチレバー型からMEMS型まで幅広いプローブカード
- •多ピン・狭ピッチ化への対応
塗布技術を核とする研磨材メーカー。精密研磨フィルムを自社開発し、ウェハのエッジ・ベベル研磨装置や各種研磨装置と組み合わせて供給する。
- •研磨フィルムの自社塗工技術
- •消耗材と装置を一体で提案できる体制
超硬合金「エバーロイ」を軸に、スプレーノズルと精密加工品を手掛けるメーカー。耐摩耗性を要する治具・金型部品を供給する。
- •超硬合金の材料開発から加工まで一貫
- •スプレーノズルで国内有数
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