石英・セラミック部品メーカー6社

セラミック技術を基盤とする総合メーカー。半導体製造装置向けに静電チャック（ESC）・セラミックヒーター・サセプタなど、高純度・高耐熱のチャンバー内部材を供給する。

• •窒化アルミ（AlN）・アルミナ系セラミックの材料技術
• •静電チャック・セラミックヒーターで高いシェア

ファインセラミックス技術を核とする国内大手メーカー。半導体パッケージ基板・水晶デバイス・電子部品を幅広く展開し、半導体実装の基盤材料を供給する。

• •セラミックパッケージ基板で世界トップクラス
• •水晶デバイス・電子部品にも強み

衛生陶器で知られる一方、ファインセラミック事業として半導体製造装置向けの静電チャック（ESC）を供給。多孔質セラミックの成形・焼成技術を強みとする。

• •ファインセラミックの成形・焼成技術
• •静電チャック（ESC）の主要サプライヤー

高純度合成石英ガラスの専業メーカー。拡散炉用チューブ・ボート、エッチング装置用の石英リング・窓など、金属汚染を嫌うプロセスで使われる石英部材を供給する。

• •合成石英ガラスの高純度化技術
• •拡散炉用チューブ・ボートで高い実績

スパッタリングターゲット・高純度化学品・石英ガラス製品の総合化学メーカー。半導体向けでは銅・タンタル・窒化チタンなどのスパッタリングターゲットで日本最大手級。ALD/CVD向け前駆体（有機金属化合物）でも重要サプライヤー。

• •スパッタリングターゲット材料で国内トップシェア
• •ALD/CVD前駆体の独自開発力

熱電モジュール・シリコン部品・石英ガラス部品など半導体製造装置向けコンポーネントの日本大手。中国での半導体部材生産にも積極投資。

• •サーモエレクトリックモジュールで世界シェア首位級
• •石英・セラミック・シリコン部品の一貫製造