装置部品・サブシステムメーカー15社Equipment Components & Subsystems
装置部品・サブシステムは、露光・エッチング・成膜・洗浄などの半導体製造装置を内部で構成する真空ポンプ・RF電源・ガス供給/流量制御（MFC）・石英/セラミック部品・ウェハキャリア（FOUP）・各種消耗部品などの総称です。装置メーカー（OEM）はこれらの専門サプライヤーから部材を調達して装置を組み上げており、サブシステムの性能・信頼性が装置全体のプロセス精度と稼働率（アップタイム）を直接左右します。エッジリングや石英部品などの消耗部品は定期交換・洗浄/再生が必要で、ファブのランニングコストと安定稼働を支える重要な領域です。
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ボンディングツール（キャピラリ）は、ワイヤボンダの先端でワイヤを保持し、超音波と荷重を接合面へ伝える消耗部品です。
メーカー 4 社キャリア洗浄装置キャリア洗浄装置は、FOUPやウェハカセットに蓄積したパーティクルと化学汚染を洗い流す装置です。
メーカー 8 社消耗部品・部品洗浄/再生消耗部品・部品洗浄/再生は、プラズマやガスにさらされて徐々に劣化する装置内部品と、それらを再利用するためのサービス領域です。
メーカー 7 社装置制御ソフトウェア・受託開発装置制御ソフトウェアは、半導体製造装置のチャンバー・搬送ロボット・ガス系・電源などを指示どおりに動かし、プロセスレシピを実行するソフトウェア層です。
メーカー 6 社ダイシングブレード・マウンタ部品ダイシングブレード・マウンタ部品は、ウェハをチップへ切り分ける工程で使う消耗部材です。
メーカー 5 社静電チャック・ホットプレート静電チャック（ESC）は、静電気力でウェハを保持するセラミック製のステージ部品です。
メーカー 6 社流体・薬液システム流体・薬液システムは、装置内で薬液・純水・冷媒・オゾン水を運び、温度と流量を制御するサブシステムです。
メーカー 8 社ガス供給・流量制御ガス供給・流量制御系は、プロセスガスや特殊材料ガスを決められた流量・圧力でチャンバへ届けるサブシステムです。
メーカー 8 社ヒータユニット・温度モニタヒータユニット・温度モニタは、チャンバやサセプタを加熱し、その温度を測定・制御する部品群です。
メーカー 10 社センサウェハ（T/C付ウェハ）センサウェハ（T/C付ウェハ）は、熱電対や各種センサを埋め込んだ計測専用のウェハで、装置の状態を実際のウェハ位置で測るための治具です。
メーカー 5 社駆動・光学ユニット駆動・光学ユニットは、ウェハを動かし、光を当て、状態を検出するという装置の身体機能を担うサブシステムです。
メーカー 8 社研磨用パッド・キャリア部品研磨用パッド・キャリア部品は、CMPやウェハ研磨で実際に加工面と接する消耗部材です。
メーカー 9 社RF電源・電源システムRF電源・電源システムは、プラズマを用いるエッチング・CVD（PECVD）・PVD（スパッタ）装置に高周波/直流電力を供給するサブシステムです。
メーカー 5 社プロセスモニター（EPD/OES）プロセスモニターは、処理中のチャンバ内部の状態を実時間で観測するユニットです。
メーカー 11 社石英・セラミック部品石英・セラミック部品は、高温・プラズマ・腐食性ガスにさらされる製造装置のチャンバー内部で使われる部材です。
メーカー 7 社表面処理・溶射コーティング表面処理・溶射コーティングは、チャンバ内壁や治具の表面に耐プラズマ性の膜を作り、部品寿命とパーティクル特性を改善する加工サービスです。
メーカー 7 社テスト用治具・コンタクト部品テスト用治具・コンタクト部品は、テスタとデバイスの間に入って電気的な接触を作る部品群です。
メーカー 8 社真空ポンプ真空ポンプは、成膜（CVD/PVD/ALD）・エッチング・イオン注入など、真空環境を必要とする製造装置のチャンバー内を排気する基幹サブシステムです。
メーカー 8 社真空排気システム真空排気システムは、プロセスチャンバの圧力を目的の領域まで下げ、その状態を反応中も維持し続けるためのサブシステムです。
メーカー 7 社ウェハキャリア・FOUP・EFEMウェハキャリア・FOUP・EFEMは、ウェハを清浄な環境で保管・搬送し、装置内へ受け渡すインターフェース部材/サブシステムです。
メーカー 9 社重要ポイント
メーカー
15社の主要メーカー
半導体ファブ向け真空ポンプ・排気処理（アベートメント）システムの世界大手。ドライポンプ・ブースターポンプ・PFASフリー排ガス処理まで一貫提供し、ファブのインフラを支える。
- •ドライ真空ポンプで世界最大手
- •排気処理（アベートメント）システムに強み
半導体製造装置向け真空ポンプ・計測機器の世界的リーダー。ターボ分子ポンプ・スクロールポンプ・ドライポンプなど幅広い製品ラインでALD・CVD・PVD・エッチング装置の真空環境を支える。
- •ターボ分子ポンプで世界最大手クラス
- •クリーンドライポンプによる汚染防止
ガス流量制御・圧力制御・RFパワー・プラズマ源など、半導体製造プロセスを支えるサブシステム機器の主要メーカー。Newport光学部門も保有。
- •マスフローコントローラ（MFC）でグローバルリーダー
- •RF電力供給・圧力制御・真空計測の統合ソリューション
半導体製造装置向けRF電源・直流電源・マッチングネットワークの世界的リーダー。エッチング・CVD・PVDなどプラズマプロセス装置の電源ユニットで圧倒的なシェアを持つ。
- •プラズマプロセス向けRF電源・マッチングネットワークで世界首位
- •エッチング・CVD・PVD装置のほぼ全てのアプリケーションをカバー
半導体材料インテグリティ管理の専業企業。ウェハキャリア（FOUP）・CMPスラリー・超純水フィルタ・ガス精製器など汚染制御製品でNo.1クラスのシェア。
- •半導体用CMPスラリー・研磨材料のグローバルトップ（CMC Materials統合後）
- •超純水・薬液フィルタで世界最高水準の汚染管理
半導体製造装置向けサブシステム・部品・洗浄サービスのアウトソーシング専業企業。AMAT・Lam Research・ASMLなど大手OEMを主要顧客に持つ。
- •主要装置OEM向けガス流路モジュールのトップサプライヤー
- •チャンバー部品の精密加工・洗浄再生サービス
熱電モジュール・シリコン部品・石英ガラス部品など半導体製造装置向けコンポーネントの日本大手。中国での半導体部材生産にも積極投資。
- •サーモエレクトリックモジュールで世界シェア首位級
- •石英・セラミック・シリコン部品の一貫製造
半導体ウェハ搬送ロボット・EFEM（装置フロントエンドモジュール）・ソーターの専業大手。装置メーカーへOEM供給し、クリーンな搬送自動化で高い世界シェアを持つ。
- •ウェハ搬送ロボット・EFEMで高い世界シェア
- •真空・大気搬送からソーターまで一貫した搬送ソリューション
生産システムのエンジニアリング会社。半導体分野ではウェハ搬送ユニットやEFEM、ロードポートなどを供給し、装置メーカー向けに搬送部を組み込む形で事業を展開する。
- •生産ラインのインテグレーション力
- •ウェハ搬送ユニットの設計・製造
サーボモータ・インバータ・産業用ロボットの大手メーカー。半導体分野では大気搬送・真空搬送に対応したクリーンロボットを供給し、装置内および装置間のウェハ搬送を担う。
- •サーボ技術を核とした高速・高精度な搬送
- •大気用・真空用の双方のクリーンロボット
電力機器・溶接機を源流とするメーカー。半導体分野ではウェハ搬送ロボットに加え、プラズマ装置向けの高周波電源と整合器（マッチングボックス）を供給する。
- •高周波電源と整合器を自社設計
- •大気・真空対応のウェハ搬送ロボット
波動歯車装置（ハーモニックドライブ）の専業メーカー。バックラッシュがほぼゼロの精密減速機を供給し、半導体搬送ロボットや精密ステージの駆動部に使われる。
- •波動歯車装置による極小バックラッシュ
- •小型・軽量で高減速比を実現
ニードルベアリングと直動案内機器のメーカー。リニアガイドやクロスローラーガイド、位置決めテーブルを供給し、半導体製造装置のステージや搬送軸に使われる。
- •ニードルベアリングと直動案内の両分野に強み
- •クリーン環境・真空対応品のラインナップ
防振・除振を専門とする国内メーカー。空気ばね式やアクティブ制御式の除振装置、防振ゴムを供給し、露光装置や電子顕微鏡など振動に敏感な装置の設置環境を支える。
- •パッシブ・アクティブ両方式の除振装置
- •現地の振動測定から対策提案までの一貫対応
半導体製造装置の制御系ソフトウェアを受託開発する独立系ソフトウェア会社。半導体製造装置メーカーとの30年の取引実績を持ち、装置制御ソフト・マルチチャンバー型スパッタ装置システム・装置オンラインシステムなどを手掛けるほか、常駐での業務支援も行う。
- •半導体製造装置メーカーとの30年の取引実績
- •マルチチャンバー型スパッタ装置のシステム開発実績