装置部品・サブシステムメーカー15社Equipment Components & Subsystems

半導体ファブ向け真空ポンプ・排気処理（アベートメント）システムの世界大手。ドライポンプ・ブースターポンプ・PFASフリー排ガス処理まで一貫提供し、ファブのインフラを支える。

• •ドライ真空ポンプで世界最大手
• •排気処理（アベートメント）システムに強み

半導体製造装置向け真空ポンプ・計測機器の世界的リーダー。ターボ分子ポンプ・スクロールポンプ・ドライポンプなど幅広い製品ラインでALD・CVD・PVD・エッチング装置の真空環境を支える。

• •ターボ分子ポンプで世界最大手クラス
• •クリーンドライポンプによる汚染防止

ガス流量制御・圧力制御・RFパワー・プラズマ源など、半導体製造プロセスを支えるサブシステム機器の主要メーカー。Newport光学部門も保有。

• •マスフローコントローラ（MFC）でグローバルリーダー
• •RF電力供給・圧力制御・真空計測の統合ソリューション

半導体製造装置向けRF電源・直流電源・マッチングネットワークの世界的リーダー。エッチング・CVD・PVDなどプラズマプロセス装置の電源ユニットで圧倒的なシェアを持つ。

• •プラズマプロセス向けRF電源・マッチングネットワークで世界首位
• •エッチング・CVD・PVD装置のほぼ全てのアプリケーションをカバー

半導体材料インテグリティ管理の専業企業。ウェハキャリア（FOUP）・CMPスラリー・超純水フィルタ・ガス精製器など汚染制御製品でNo.1クラスのシェア。

• •半導体用CMPスラリー・研磨材料のグローバルトップ（CMC Materials統合後）
• •超純水・薬液フィルタで世界最高水準の汚染管理

半導体製造装置向けサブシステム・部品・洗浄サービスのアウトソーシング専業企業。AMAT・Lam Research・ASMLなど大手OEMを主要顧客に持つ。

• •主要装置OEM向けガス流路モジュールのトップサプライヤー
• •チャンバー部品の精密加工・洗浄再生サービス

熱電モジュール・シリコン部品・石英ガラス部品など半導体製造装置向けコンポーネントの日本大手。中国での半導体部材生産にも積極投資。

• •サーモエレクトリックモジュールで世界シェア首位級
• •石英・セラミック・シリコン部品の一貫製造

半導体ウェハ搬送ロボット・EFEM（装置フロントエンドモジュール）・ソーターの専業大手。装置メーカーへOEM供給し、クリーンな搬送自動化で高い世界シェアを持つ。

• •ウェハ搬送ロボット・EFEMで高い世界シェア
• •真空・大気搬送からソーターまで一貫した搬送ソリューション

生産システムのエンジニアリング会社。半導体分野ではウェハ搬送ユニットやEFEM、ロードポートなどを供給し、装置メーカー向けに搬送部を組み込む形で事業を展開する。

• •生産ラインのインテグレーション力
• •ウェハ搬送ユニットの設計・製造

サーボモータ・インバータ・産業用ロボットの大手メーカー。半導体分野では大気搬送・真空搬送に対応したクリーンロボットを供給し、装置内および装置間のウェハ搬送を担う。

• •サーボ技術を核とした高速・高精度な搬送
• •大気用・真空用の双方のクリーンロボット

電力機器・溶接機を源流とするメーカー。半導体分野ではウェハ搬送ロボットに加え、プラズマ装置向けの高周波電源と整合器（マッチングボックス）を供給する。

• •高周波電源と整合器を自社設計
• •大気・真空対応のウェハ搬送ロボット

波動歯車装置（ハーモニックドライブ）の専業メーカー。バックラッシュがほぼゼロの精密減速機を供給し、半導体搬送ロボットや精密ステージの駆動部に使われる。

• •波動歯車装置による極小バックラッシュ
• •小型・軽量で高減速比を実現

ニードルベアリングと直動案内機器のメーカー。リニアガイドやクロスローラーガイド、位置決めテーブルを供給し、半導体製造装置のステージや搬送軸に使われる。

• •ニードルベアリングと直動案内の両分野に強み
• •クリーン環境・真空対応品のラインナップ

防振・除振を専門とする国内メーカー。空気ばね式やアクティブ制御式の除振装置、防振ゴムを供給し、露光装置や電子顕微鏡など振動に敏感な装置の設置環境を支える。

• •パッシブ・アクティブ両方式の除振装置
• •現地の振動測定から対策提案までの一貫対応

半導体製造装置の制御系ソフトウェアを受託開発する独立系ソフトウェア会社。半導体製造装置メーカーとの30年の取引実績を持ち、装置制御ソフト・マルチチャンバー型スパッタ装置システム・装置オンラインシステムなどを手掛けるほか、常駐での業務支援も行う。

• •半導体製造装置メーカーとの30年の取引実績
• •マルチチャンバー型スパッタ装置のシステム開発実績