RF電源・電源システムメーカー4社

半導体製造装置向けRF電源・直流電源・マッチングネットワークの世界的リーダー。エッチング・CVD・PVDなどプラズマプロセス装置の電源ユニットで圧倒的なシェアを持つ。

• •プラズマプロセス向けRF電源・マッチングネットワークで世界首位
• •エッチング・CVD・PVD装置のほぼ全てのアプリケーションをカバー

ガス流量制御・圧力制御・RFパワー・プラズマ源など、半導体製造プロセスを支えるサブシステム機器の主要メーカー。Newport光学部門も保有。

• •マスフローコントローラ（MFC）でグローバルリーダー
• •RF電力供給・圧力制御・真空計測の統合ソリューション

静電チャック（ESC）とチャック用電源・制御装置の専業メーカー。半導体・FPD製造装置向けに、材質・電極構造・電源をセットで設計する吸着ソリューションを提供する。

• •静電チャック専業としての設計ノウハウ
• •チャック本体と専用電源を一体で供給

電力機器・溶接機を源流とするメーカー。半導体分野ではウェハ搬送ロボットに加え、プラズマ装置向けの高周波電源と整合器（マッチングボックス）を供給する。

• •高周波電源と整合器を自社設計
• •大気・真空対応のウェハ搬送ロボット