RF電源・電源システムメーカー5社
RF電源・電源システムは、プラズマを用いるエッチング・CVD（PECVD）・PVD（スパッタ）装置に高周波/直流電力を供給するサブシステムです。RFジェネレータとインピーダンス整合を行うマッチングネットワークが対になり、プラズマの安定性・密度・イオンエネルギーを精密に制御します。プロセスの再現性とウェハ面内均一性は電源の出力安定度と応答速度に大きく依存し、微細化が進むほどパルス制御など高度な電源技術が求められます。
主要特徴
よくある質問
マッチングネットワークとは何ですか？▾
RF電源がプロセスに与える影響は？▾
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | Advanced Energy IndustriesParamount® RF ジェネレーター | ダイヘン高周波電源・自動整合器（RGA／WGA／MGA／FGA シリーズ） |
|---|---|---|
| 種類 | RF 電源（プラズマ用） | RF 電源＋自動整合器 |
| 関連機種 | Paramount Plus（多段パルス）／eVoS（非正弦波バイアス）／eVerest | 13.56 MHz RGA（～30 kW）／2 MHz WGA／400 kHz MGA／40.68 MHz FGA |
| 主要用途 | エッチング・成膜装置のプラズマ生成 | エッチング・CVD のプラズマ生成 |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
代表製品・スペック
| 種類 | RF 電源（プラズマ用） |
| 関連機種 | Paramount Plus（多段パルス）／eVoS（非正弦波バイアス）／eVerest |
| 主要用途 | エッチング・成膜装置のプラズマ生成 |
高周波電源・自動整合器（RGA／WGA／MGA／FGA シリーズ）
周波数別にそろえたダイヘンのプラズマ用高周波電源と自動整合器。
| 種類 | RF 電源＋自動整合器 |
| 関連機種 | 13.56 MHz RGA（～30 kW）／2 MHz WGA／400 kHz MGA／40.68 MHz FGA |
| 主要用途 | エッチング・CVD のプラズマ生成 |
※ スペックは公開情報に基づく参考値です。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
メーカー
5社の主要メーカー
半導体製造装置向けRF電源・直流電源・マッチングネットワークの世界的リーダー。エッチング・CVD・PVDなどプラズマプロセス装置の電源ユニットで圧倒的なシェアを持つ。
- •プラズマプロセス向けRF電源・マッチングネットワークで世界首位
- •エッチング・CVD・PVD装置のほぼ全てのアプリケーションをカバー
ガス流量制御・圧力制御・RFパワー・プラズマ源など、半導体製造プロセスを支えるサブシステム機器の主要メーカー。Newport光学部門も保有。
- •マスフローコントローラ（MFC）でグローバルリーダー
- •RF電力供給・圧力制御・真空計測の統合ソリューション
静電チャック（ESC）とチャック用電源・制御装置の専業メーカー。半導体・FPD製造装置向けに、材質・電極構造・電源をセットで設計する吸着ソリューションを提供する。
- •静電チャック専業としての設計ノウハウ
- •チャック本体と専用電源を一体で供給
電力機器・溶接機を源流とするメーカー。半導体分野ではウェハ搬送ロボットに加え、プラズマ装置向けの高周波電源と整合器（マッチングボックス）を供給する。
- •高周波電源と整合器を自社設計
- •大気・真空対応のウェハ搬送ロボット
鉄道信号システムとパワーエレクトロニクスを柱とする電機メーカー。パワーエレクトロニクス事業で半導体・FPD製造装置向けの電源装置を手がけ、米国サンノゼに現地法人を設けて海外の装置メーカーにも供給。
- •鉄道信号で培った高信頼の電源・制御技術
- •半導体・FPD製造装置向けの電源装置を国内外の装置メーカーへ供給
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