ウェハキャリア・FOUP・EFEMメーカー8社

半導体ウェハ搬送容器の専業メーカー。300mmウェハ用FOUP・FOSBを精密樹脂成形技術で製造し、ウェハの清浄度保持と搬送・出荷の標準化を支える。

• •FOUP・FOSBの精密樹脂成形技術
• •帯電防止・低アウトガス材料の設計

信越化学グループの樹脂成形メーカー。半導体分野では300mmウェハ用FOUP・FOSB、レチクルポッド、各種搬送治具を供給し、ウェハとマスクの清浄搬送を支える。

• •FOUP・FOSB・レチクルポッドの製品群
• •信越グループの材料技術との連携

半導体材料インテグリティ管理の専業企業。ウェハキャリア（FOUP）・CMPスラリー・超純水フィルタ・ガス精製器など汚染制御製品でNo.1クラスのシェア。

• •半導体用CMPスラリー・研磨材料のグローバルトップ（CMC Materials統合後）
• •超純水・薬液フィルタで世界最高水準の汚染管理

クリーン搬送機器のメーカー。FOUPを装置に接続するロードポートと、その内部でウェハを搬送するEFEM（装置フロントエンドモジュール）で世界的なシェアを持つ。

• •ロードポートで世界トップクラスのシェア
• •EFEM・搬送ロボットの一体設計

電子部品の国内大手メーカー。コンデンサ・インダクタ等の受動部品に加え、磁気センサー・圧電デバイスなど半導体周辺の電子部品を幅広く展開する。

• •電子部品で世界トップクラスのシェア
• •磁気センサー・圧電デバイスに強み

半導体ウェハ搬送ロボット・EFEM（装置フロントエンドモジュール）・ソーターの専業大手。装置メーカーへOEM供給し、クリーンな搬送自動化で高い世界シェアを持つ。

• •ウェハ搬送ロボット・EFEMで高い世界シェア
• •真空・大気搬送からソーターまで一貫した搬送ソリューション

生産システムのエンジニアリング会社。半導体分野ではウェハ搬送ユニットやEFEM、ロードポートなどを供給し、装置メーカー向けに搬送部を組み込む形で事業を展開する。

• •生産ラインのインテグレーション力
• •ウェハ搬送ユニットの設計・製造

サーボモータ・インバータ・産業用ロボットの大手メーカー。半導体分野では大気搬送・真空搬送に対応したクリーンロボットを供給し、装置内および装置間のウェハ搬送を担う。

• •サーボ技術を核とした高速・高精度な搬送
• •大気用・真空用の双方のクリーンロボット