ウェハキャリア・FOUP・EFEMメーカー9社
ウェハキャリア・FOUP・EFEMは、ウェハを清浄な環境で保管・搬送し、装置内へ受け渡すインターフェース部材/サブシステムです。FOUP（Front Opening Unified Pod）は300mmウェハを密閉搬送する標準容器で、EFEM（装置フロントエンドモジュール）はFOUPと装置本体の間でウェハを清浄雰囲気のままロボット搬送します。ミニエンバイロメント（局所クリーン化）の中核として、パーティクル汚染を防ぎ、ファブ全体の自動搬送（AMHS）と連携して稼働効率を高めます。
主要特徴
よくある質問
FOUPとは何ですか？▾
EFEMの役割は？▾
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | ミライアル（MIRAIAL）300mm FOUP | 信越ポリマーFOUP300EX | EntegrisSpectra™ FOUP |
|---|---|---|---|
| 種類 | FOUP（工程内容器） | FOUP（工程内容器） | FOUP（工程内容器） |
| 対応ウェハ径 | 300 mm | 300 mm（最大 25 枚） | 300 mm（最大 26 枚） |
| 関連製品 | 300mm FOSB（出荷容器） | MW300GT・PANEL FOUP | A300 FOUP |
| 主要用途 | 工場内のウェーハ搬送・保管 | 工場内のウェーハ搬送・保管 | 工場内のウェーハ搬送（パージ対応） |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
代表製品・スペック
| 種類 | FOUP（工程内容器） |
| 対応ウェハ径 | 300 mm |
| 関連製品 | 300mm FOSB（出荷容器） |
| 主要用途 | 工場内のウェーハ搬送・保管 |
| 種類 | FOUP（工程内容器） |
| 対応ウェハ径 | 300 mm（最大 25 枚） |
| 関連製品 | MW300GT・PANEL FOUP |
| 主要用途 | 工場内のウェーハ搬送・保管 |
| 種類 | FOUP（工程内容器） |
| 対応ウェハ径 | 300 mm（最大 26 枚） |
| 関連製品 | A300 FOUP |
| 主要用途 | 工場内のウェーハ搬送（パージ対応） |
※ スペックは公開情報に基づく参考値です。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
メーカー
9社の主要メーカー
半導体ウェハ搬送容器の専業メーカー。300mmウェハ用FOUP・FOSBを精密樹脂成形技術で製造し、ウェハの清浄度保持と搬送・出荷の標準化を支える。
- •FOUP・FOSBの精密樹脂成形技術
- •帯電防止・低アウトガス材料の設計
信越化学グループの樹脂成形メーカー。半導体分野では300mmウェハ用FOUP・FOSB、レチクルポッド、各種搬送治具を供給し、ウェハとマスクの清浄搬送を支える。
- •FOUP・FOSB・レチクルポッドの製品群
- •信越グループの材料技術との連携
半導体材料インテグリティ管理の専業企業。ウェハキャリア（FOUP）・CMPスラリー・超純水フィルタ・ガス精製器など汚染制御製品でNo.1クラスのシェア。
- •半導体用CMPスラリー・研磨材料のグローバルトップ（CMC Materials統合後）
- •超純水・薬液フィルタで世界最高水準の汚染管理
クリーン搬送機器のメーカー。FOUPを装置に接続するロードポートと、その内部でウェハを搬送するEFEM（装置フロントエンドモジュール）で世界的なシェアを持つ。
- •ロードポートで世界トップクラスのシェア
- •EFEM・搬送ロボットの一体設計
電子部品の国内大手メーカー。コンデンサ・インダクタ等の受動部品に加え、磁気センサー・圧電デバイスなど半導体周辺の電子部品を幅広く展開する。
- •電子部品で世界トップクラスのシェア
- •磁気センサー・圧電デバイスに強み
半導体ウェハ搬送ロボット・EFEM（装置フロントエンドモジュール）・ソーターの専業大手。装置メーカーへOEM供給し、クリーンな搬送自動化で高い世界シェアを持つ。
- •ウェハ搬送ロボット・EFEMで高い世界シェア
- •真空・大気搬送からソーターまで一貫した搬送ソリューション
生産システムのエンジニアリング会社。半導体分野ではウェハ搬送ユニットやEFEM、ロードポートなどを供給し、装置メーカー向けに搬送部を組み込む形で事業を展開する。
- •生産ラインのインテグレーション力
- •ウェハ搬送ユニットの設計・製造
サーボモータ・インバータ・産業用ロボットの大手メーカー。半導体分野では大気搬送・真空搬送に対応したクリーンロボットを供給し、装置内および装置間のウェハ搬送を担う。
- •サーボ技術を核とした高速・高精度な搬送
- •大気用・真空用の双方のクリーンロボット
合成樹脂の加工を軸に、車輌資材・建材・シューズなどを展開する。電子分野ではウエハーや電子デバイス向けの静電気対策包装材を手がけ、ウエハーキャリア、ウエハー出荷容器、ベアダイ出荷用のチップトレーなどを製造する。
- •静電気対策を施した包装材
- •ウエハーキャリアと出荷容器
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