ガス供給・流量制御メーカー8社Gas Delivery and Flow Control

ガス流量制御・圧力制御・RFパワー・プラズマ源など、半導体製造プロセスを支えるサブシステム機器の主要メーカー。Newport光学部門も保有。

• •マスフローコントローラ（MFC）でグローバルリーダー
• •RF電力供給・圧力制御・真空計測の統合ソリューション
• •Newport光学・レーザー技術との融合製品群

分析・計測機器の国内大手メーカー。半導体製造向けにはガス分析計・パーティクルカウンタ・分光エリプソメータなど、プロセス管理に不可欠な計測機器を展開する。

• •分析・計測機器で国内大手
• •半導体プロセス向けガス分析に強み
• •自動車・環境分野にも展開する総合計測力

超高純度対応のバルブ・継手・レギュレータを手掛ける流体制御機器メーカー。半導体プロセスガス向けのダイヤフラムバルブや、MFCを組み込んだガスボックス（ガスパネル）をユニットで供給する。

• •超高純度（UHP）流体制御機器の設計技術
• •ダイヤフラムバルブ・継手で高いシェア
• •ガスパネルのユニット供給に対応

空圧・流体制御機器の大手。半導体分野では超高純度ガス用バルブ、薬液用の耐薬品バルブ・ポンプ、ガスユニットを供給し、装置内の流体制御を支える。

• •空圧機器と流体制御機器の総合ラインナップ
• •半導体向け高純度・耐薬品バルブ
• •ガス・薬液ユニットの設計対応

総合バルブメーカーKITZグループの半導体向け専業会社。超高純度ガス用ダイヤフラムバルブ、腐食性ガス対応バルブ、真空・排気ライン用バルブを供給する。

• •半導体プロセスガス用バルブの専業
• •腐食性・毒性ガス対応の耐食設計
• •KITZグループのバルブ製造基盤

半導体材料インテグリティ管理の専業企業。ウェハキャリア（FOUP）・CMPスラリー・超純水フィルタ・ガス精製器など汚染制御製品でNo.1クラスのシェア。

• •半導体用CMPスラリー・研磨材料のグローバルトップ（CMC Materials統合後）
• •超純水・薬液フィルタで世界最高水準の汚染管理
• •FOUP・ウェハシッパーなどウェハ保護材料で業界標準

半導体製造装置向けサブシステム・部品・洗浄サービスのアウトソーシング専業企業。AMAT・Lam Research・ASMLなど大手OEMを主要顧客に持つ。

• •主要装置OEM向けガス流路モジュールのトップサプライヤー
• •チャンバー部品の精密加工・洗浄再生サービス
• •垂直統合型のサプライチェーンで短納期を実現

産業ガスを中核とする国内大手。窒素・酸素・水素などのバルクガスに加え、半導体プロセス向けの各種特殊ガスや、オンサイト供給設備・ガス供給配管システムを手掛ける。

• •バルクガスと特殊ガスの両方を供給
• •オンサイト発生設備によるファブ向け供給体制
• •ガス供給設備の設計・施工まで一貫対応