比較記事一覧
検索で多い「〇〇と△△の違い」を、表と短い解説で整理しています。詳細は用語集・各装置カテゴリもあわせてご覧ください。
- EUV露光装置とDUV露光装置の違い
EUV（極紫外）とDUV（深紫外）の露光装置の違いを、光源波長、解像度、マルチパターニング、装置コスト、適用プロセスノードの観点で整理。Semiraiの用語・装置カテゴリへ誘導します。
- CVDとPVDの違い
化学気相成長（CVD）と物理気相成長（PVD）の違いを、成膜の原理、温度帯、膜の純度・段差被覆、主な用途で比較。スパッタリング等のPVDとPECVD等のCVDの選び方の目安を整理します。
- ALDとCVDの違い
原子層堆積（ALD）とCVDの違いを、前駆体の供給方式、膜厚制御、段差被覆、スループットの観点で比較。FinFET以降の高アスペクト比構造でのALDニーズの考え方をまとめます。
- ドライエッチングとウェットエッチングの違い
プラズマ等を用いるドライエッチングと、薬液を用いるウェットエッチングの違いを、異方性、選択比、パーティクル、コストの観点で整理。前工程のパターン形成での使い分けの考え方を解説します。