ビームライン式イオン注入装置メーカー5社
ビームライン式イオン注入装置は、イオン源で生成した不純物イオンを質量分析磁石で種別分離し、高エネルギーで加速してウェハに打ち込む装置です。注入するイオン種・エネルギー（keV〜MeV）・ドーズ量（cm⁻²）を高精度に制御でき、浅い接合（ウルトラシャロー）形成からディープウェル形成まで幅広い用途に対応します。Applied MaterialsのVIISTA・QuantumシリーズやAxcelis Technologiesが主要サプライヤーです。
主要特徴
よくある質問
ビームライン式イオン注入装置とは何ですか？▾
イオン注入装置の主要メーカーはどこですか？▾
ビームライン式とプラズマドーピングの違いは何ですか？▾
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | Axcelis TechnologiesPurion H（Purion H6） | Applied MaterialsVIISta® Trident | 日新イオン機器EXCEED3000AH | 住友重機械イオンテクノロジーSHX-Ⅲ(HC) |
|---|---|---|---|---|
| 区分 | 高電流イオン注入装置（Purion プラットフォーム） | 高電流（Trident）・中電流（900XP） | 中電流 | 高電流 |
| ビーム方式 | スキャンドスポットビーム（磁場・静電の 5 段フィルター） | リボンビーム（Trident はデュアルマグネット） | ビームライン式（300 mm 枚葉） | ビームスキャン＋メカニカルスキャン |
| 関連機種 | Purion M（中電流）・Purion XE（高エネルギー） | VIISta 900 3D・VIISta PLAD（プラズマドーピング） | EXCEED400HY（水素注入） | MC3-Ⅱ（中電流）・S-UHE（高エネルギー）・SAion |
| 主要用途 | ロジック・メモリ・イメージセンサー・パワーデバイス | 先端ノードの高電流注入・精密注入 | 注入角度・エネルギー精度が要る中ドーズ注入 | 高ドーズ・極低エネルギー注入 |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
代表製品・スペック
Purion H（Purion H6）
Axcelis の高電流イオン注入装置。5 段フィルターのスキャンドスポットビームで汚染を抑える。同じ Purion プラットフォームに中電流の Purion M、高エネルギーの Purion XE がある。
| 区分 | 高電流イオン注入装置（Purion プラットフォーム） |
| ビーム方式 | スキャンドスポットビーム（磁場・静電の 5 段フィルター） |
| 関連機種 | Purion M（中電流）・Purion XE（高エネルギー） |
| 主要用途 | ロジック・メモリ・イメージセンサー・パワーデバイス |
VIISta® Trident
Applied Materials（旧 Varian）の枚葉式 高電流イオン注入装置。デュアルマグネットのリボンビームとエネルギー純度モジュールを持つ。中電流機には VIISta 900XP がある。
| 区分 | 高電流（Trident）・中電流（900XP） |
| ビーム方式 | リボンビーム（Trident はデュアルマグネット） |
| 関連機種 | VIISta 900 3D・VIISta PLAD（プラズマドーピング） |
| 主要用途 | 先端ノードの高電流注入・精密注入 |
| 区分 | 中電流 |
| ビーム方式 | ビームライン式（300 mm 枚葉） |
| 関連機種 | EXCEED400HY（水素注入） |
| 主要用途 | 注入角度・エネルギー精度が要る中ドーズ注入 |
| 区分 | 高電流 |
| ビーム方式 | ビームスキャン＋メカニカルスキャン |
| 関連機種 | MC3-Ⅱ（中電流）・S-UHE（高エネルギー）・SAion |
| 主要用途 | 高ドーズ・極低エネルギー注入 |
※ スペックは公開情報に基づく参考値です。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
メーカー
5社の主要メーカー
イオン注入装置の専業メーカー。Purionシリーズで低〜高エネルギーの注入をカバーし、先端ロジック・メモリ・SiCパワー半導体の製造を支える。
- •イオン注入装置のグローバル主要サプライヤー
- •Purionシリーズによる幅広いドーズ・エネルギー対応
世界最大の半導体製造装置サプライヤー。成膜、除去、改質、分析の包括的な製品ポートフォリオで、ウェーハ製造の全工程をサポート。
- •世界最大の半導体製造装置サプライヤー
- •成膜、除去、改質、分析の包括的な製品ポートフォリオ
イオン注入装置の専業メーカーとして、中電流・高電流・超高エネルギーイオン注入装置を展開。パワー半導体・CMOS向けドーピング装置で高い技術力を誇る。
- •中電流・高電流・超高エネルギー全タイプのイオン注入装置を製造
- •パワー半導体向け大電流注入装置で強い実績
住友重機械工業グループのイオン注入装置専業メーカー。半導体前工程のドーパント注入から、太陽電池・パワー半導体向けの表面改質装置まで幅広く展開する。
- •イオン注入装置の専業メーカー
- •パワー半導体向け高エネルギー注入に対応
住友重機械工業グループのイオン注入装置メーカー。中電流・高電流インプランターを主力に、国内IDMおよびアジアのメモリメーカーへの納入実績を持つ。
- •中電流・高電流インプランターの国内主要サプライヤー
- •国内IDM・アジアメモリメーカーへの納入実績