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ビームライン式イオン注入装置メーカー4社
ビームライン式イオン注入装置は、イオン源で生成した不純物イオンを質量分析磁石で種別分離し、高エネルギーで加速してウェハに打ち込む装置です。注入するイオン種・エネルギー（keV〜MeV）・ドーズ量（cm⁻²）を高精度に制御でき、浅い接合（ウルトラシャロー）形成からディープウェル形成まで幅広い用途に対応します。Applied MaterialsのVIISTA・QuantumシリーズやAxcelis Technologiesが主要サプライヤーです。
メーカー 4 社関連カテゴリ 1 件
主要特徴
質量分析磁石でイオン種を純粋に分離し不純物混入を防止
エネルギー・ドーズ量を独立制御（浅い接合〜深いウェル領域まで対応）
高電流型（生産性優先）・中電流型（精度優先）・高エネルギー型の3系統
Applied Materials・Axcelisが世界市場の主要2社
FinFET・GAA向けに多軸・高傾斜注入機能が重要化
よくある質問
メーカー
4社の主要メーカー
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比較・違いを学ぶ
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