ブレードダイシングとは

Blade Dicing

最終更新:2026-10-07・ダイシング・研磨装置|用語集のExcel・PDF版をダウンロード

定義・解説

ブレードダイシング(Blade Dicing)は、電着ダイヤモンドブレードを高速回転させ、ウェハを機械的に切削して個々のチップ(ダイ)に個片化する、最も伝統的で広く使われているダイシング方式である。切削点に純水を供給しながら加工することで摩擦熱を抑え、切削くず(デブリ)を洗い流す。

ブレード厚み(カーフ幅)はおおむね15〜50μm程度で、ダイシングストリート(チップ間の切断代)の幅を左右する。厚いウェハや金属配線層を含む基板でも安定して切断できる実績と量産性の高さから、汎用パッケージ(QFP・BGA・QFN等)向けの個片化工程で今も主流である。

一方、ブレードの機械的な接触により、チップ端面にチッピング(微小な欠け)やクラックが発生しやすく、薄化した脆いウェハ(50μm以下)やlow-k絶縁膜を含む先端デバイスでは、非接触加工のレーザーダイシング・ステルスダイシングへの置き換えが進んでいる。切削水を用いるウェットプロセスであるため、後工程の洗浄・乾燥も必要になる。

主要装置メーカーはDISCO・東京精密(Accretech)で、量産ラインでの安定性・スループット・コスト効率の高さから、先端パッケージ以外の汎用用途では引き続き広く採用されている。

図解

ブレードダイシングの要点(刃・水・チッピング・強み)
最も伝統的で広く使われているダイシングの方式。

紛らわしい言葉の切り分け

ステルスダイシングとブレードダイシング。違いは切り代(カーフ)が出るかどうかです。ステルスダイシングはレーザーでウェハ内部に改質層を作り、テープを広げて割るため、切り代も切りくずもほとんど出ず、極薄ウェハに向きます。ブレードダイシングは回転する砥石で切るため、刃の幅だけ切り代が要り、欠けも出やすくなります。 比較記事 →

レーザーダイシングとブレードダイシング。違いはウェハに触れるかどうかです。レーザーダイシングは非接触で加工するため機械的な力が小さく、薄いウェハや脆い材料に向きます。ブレードダイシングはダイヤモンドの刃で切る伝統的な方法で、欠けは出やすいものの、厚いウェハまで安定して安く切れます。 比較記事 →

この用語を扱う職種

後工程(実装・テスト)ダイシング・薄化エンジニア

設備の製造メーカー

DISCO日本

「切る・削る・磨く」技術の世界的リーダー。ダイシングソー、グラインダで市場トップシェアを持ち、超薄ウェーハ加工…

東京精密(Accretech)日本

日本の精密計測・半導体製造装置メーカー。ウェーハプロービングシステムおよびダイシング装置で高い技術力を誇る。

三星ダイヤモンド工業日本

1935年にガラス切りの工具メーカーとして創業した大阪の切断装置メーカー。刃先(スクライビングホイール)と装置…

この用語に関連する製品

型番は各社の公式製品ページで確認したものです。出典のリンクは各製品ページに載せています。

DFD6362DISCO・ダイシングソー
AD3000T-PLUS東京精密(Accretech)・ダイシングソー
ELEP HOLDER日東電工・ダイシングテープ・BGテープ
8030Advanced Dicing Technologies(ADT)・ダイシングソー
Fico Sawing LineBesi・ダイシングソー
ZH05DISCO・ダイシングブレード・マウンタ部品
ハブブレード FTB/CCB シリーズ東京精密(Accretech)・ダイシングブレード・マウンタ部品
NBC-Z シリーズDISCO・ダイシングブレード・マウンタ部品
DFD6240DISCO・ダイシングソー
DFD6340DISCO・ダイシングソー
DFD6361DISCO・ダイシングソー
DFD6363DISCO・ダイシングソー

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出典・参考資料

  1. DISCO「DFD6362 製品ページ」(2026/10/07 確認)
  2. 東京精密(Accretech)「AD3000T-PLUS 製品ページ」(2026/10/07 確認)
  3. 日東電工「ELEP HOLDER 製品ページ」(2026/10/07 確認)
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