東京精密(Accretech)

日本の精密計測・半導体製造装置メーカー。ウェーハプロービングシステムおよびダイシング装置で高い技術力を誇る。

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当サイトでの位置づけ

プロービングとダイシングの両方に製品を持ち、後工程の「電気試験」と「チップ分離」を接続する企業として、テスト・研削カテゴリの橋渡しに使われます。

企業の強み

ウェーハプローバーにおける高精度計測技術
ダイシングソーおよび研削装置の製造実績
計測機器とウェーハ加工装置の両分野での専門性

主要製品・ソリューション

プロービングシステム

  • •ウェーハプローバー
  • •自動プローブステーション

ダイシング・研削装置

  • •ダイシングソー
  • •ウェーハ研削装置

CMP装置

  • •ChaMP 332(300mm)
  • •ChaMP 232(200mm)

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