懸鍵(Dangling Bond:未鍵結鍵)是指原子原本具有的鍵結中,沒有鍵結對象而多出來的鍵。意思是「懸空的鍵」。矽原子有4個鍵結,在晶體內部會以全部的鍵與相鄰的4個原子鍵結,但在晶體表面、與氧化層的界面、晶體缺陷或非晶部分,就會產生沒有對象的鍵。
懸鍵會在能隙中形成能階(缺陷能階),因此會捕捉電子或電洞,或成為電子與電洞復合的媒介。在MOS電晶體中,矽與閘極氧化層界面的懸鍵會成為界面能態,捕捉載子而使臨界電壓偏移、遷移率下降,並增加雜訊(1/f雜訊)。在太陽能電池與影像感測器中,表面的懸鍵會讓光產生的載子因復合而損失,造成轉換效率下降與暗電流。
因此會進行以氫等原子與懸鍵鍵結、將其填補的處理(鈍化)。在MOS電晶體製造的最後階段,會在含氫的合成氣體(forming gas)中進行400℃左右的熱處理,以氫終端界面的懸鍵,大幅減少界面能態。非晶矽膜也因含氫(a-Si:H)而減少了懸鍵,才得以用於太陽能電池與薄膜電晶體。不過,使用中的電場或熱若使氫脫離,懸鍵會再次出現,成為NBTI或熱載子造成特性劣化的原因。