最後更新:2026年10月8日基礎概念半導體物理・晶體基礎中國大陸:悬挂键

懸鍵是什麼

Dangling Bond

懸鍵(未鍵結鍵)是指原子所具有的鍵結中,沒有鍵結對象而多出來的鍵。它產生在矽表面、與氧化層的界面、缺陷及非晶部分,會在能隙中形成能階,捕捉載子或使其復合。製造中會以在合成氣體中的熱處理等方式,以氫將其終端化使其無害。

目錄4 項
  1. 定義與原理
  2. 常見問題
  3. 相關用語
  4. 比較文章

定義與原理

懸鍵(Dangling Bond:未鍵結鍵)是指原子原本具有的鍵結中,沒有鍵結對象而多出來的鍵。意思是「懸空的鍵」。矽原子有4個鍵結,在晶體內部會以全部的鍵與相鄰的4個原子鍵結,但在晶體表面、與氧化層的界面、晶體缺陷或非晶部分,就會產生沒有對象的鍵。

懸鍵會在能隙中形成能階(缺陷能階),因此會捕捉電子或電洞,或成為電子與電洞復合的媒介。在MOS電晶體中,矽與閘極氧化層界面的懸鍵會成為界面能態,捕捉載子而使臨界電壓偏移、遷移率下降,並增加雜訊(1/f雜訊)。在太陽能電池與影像感測器中,表面的懸鍵會讓光產生的載子因復合而損失,造成轉換效率下降與暗電流。

因此會進行以氫等原子與懸鍵鍵結、將其填補的處理(鈍化)。在MOS電晶體製造的最後階段,會在含氫的合成氣體(forming gas)中進行400℃左右的熱處理,以氫終端界面的懸鍵,大幅減少界面能態。非晶矽膜也因含氫(a-Si:H)而減少了懸鍵,才得以用於太陽能電池與薄膜電晶體。不過,使用中的電場或熱若使氫脫離,懸鍵會再次出現,成為NBTI或熱載子造成特性劣化的原因。

懸鍵的常見問題

為什麼懸鍵會造成問題?
因為它會在能隙中形成能階,捕捉電子或電洞,或使其復合。在電晶體中會造成臨界電壓偏移、遷移率下降與雜訊增加;在太陽能電池與影像感測器中則會造成效率下降與暗電流增加。
如何減少懸鍵?
以氫等原子填補(終端)多出來的鍵,也就是透過鈍化來減少。在MOS電晶體中,會在含氫的合成氣體中進行400℃左右的熱處理,以氫終端矽與氧化層界面的懸鍵。

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