NBTI(Negative Bias Temperature Instability:負偏壓溫度不穩定性)是在高溫下對pMOSFET持續施加負閘極電壓時,臨界電壓(Vth)隨時間上升、驅動能力逐漸下降的可靠度劣化現象。它是決定長期運作之先進CMOS壽命與時序裕度的重要老化劣化模式之一。
其機制一般認為是閘極絕緣膜與矽的界面(SiO₂/Si界面)產生界面態,以及膜中的電洞捕獲所致。溫度越高、電場越強,劣化越加速;導入High-k絕緣膜後,其行為變得更加複雜。相對於pMOS的NBTI,nMOS則有對應的PBTI(正偏壓側)。
NBTI使Vth上升後電晶體變慢,因此電路的運作速度會隨時間下降,消耗掉設計時預留的時序裕度(guard band)。另一個特徵是移除偏壓後劣化會部分恢復的「恢復現象」,這使評估與建模更加困難。
對策包括閘極絕緣膜材料與製程的最佳化、適當的護帶(guard band)設計,以及運作電壓與溫度的管理等。它與熱載子注入(HCI)及TDDB並列為主要劣化因素,在DTCO(設計-技術協同最佳化)與可靠度測試中被重點評估。搭配tddb與熱載子注入(HCI)條目一起理解,便能看清可靠度設計的全貌。