陷阱(載子陷阱)是由半導體的晶體缺陷、雜質或介面能態等在能隙中形成、會暫時捕獲電子或電洞的能階。陷阱會反覆捕獲與釋放載子,因此對元件特性影響很大。
陷阱會成為復合中心而縮短載子壽命,也會造成臨界電壓變動與漏電流。另一方面,積極利用此電荷捕獲特性的是電荷捕捉型快閃記憶體(3D NAND),在陷阱能階中儲存電子以記憶資料。降低介面陷阱是提升可靠度的關鍵。
陷阱由晶體缺陷、晶格紊亂、與氧化膜的介面(介面能態)、重金屬等雜質所產生,會在能隙中央附近形成深能階。被陷阱捕獲的載子會在一段時間後釋放,因此成為響應延遲與特性變異的原因。
其不良影響包括:成為復合中心而縮短載子壽命、使 MOSFET 的臨界電壓變動、增加漏電流等。另一方面,積極利用陷阱電荷儲存的是電荷捕捉型快閃記憶體(3D NAND 的主流),在 SiN 膜的陷阱中儲存電子以記憶資料。