UX-1 シリーズとは
UX-1 シリーズは、ウシオ電機のマスクアライナー（一括露光装置）です。自社の超高圧 UV ランプ（500W〜35kW）を搭載し、i・h・g 線に加えて Deep UV 帯域にも対応します。
真空ハードコンタクト露光でライン＆スペース 1µm、20µm ギャップのプロキシミティ露光で 3µm を解像します。表面アライメント精度は ±1µm、裏面アライメントは ±1.5µm です。
MEMS、水晶振動子、SAW・BAW フィルター、RF デバイス、IGBT や MOSFET などのパワー半導体、LED などに使われてきました。現在は生産を終了しており、後継としてマニュアル露光機が案内されています。
主な特長
- •自社製の超高圧 UV ランプ（i・h・g 線＋Deep UV）
- •ハードコンタクトで L/S 1µm
- •表面 ±1µm・裏面 ±1.5µm のアライメント
- •生産終了品
主な仕様
| 露光方式 | マスクアライナー（一括露光） |
|---|---|
| 光源 | 超高圧 UV ランプ（ihg 線・Deep UV） |
| 解像度 | L/S 1 µm（真空ハードコンタクト） |
| 販売状況 | 生産終了（後継としてマニュアル機を案内） |
| 主要用途 | 化合物・パワー・MEMS などのパターン形成 |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | ウシオ電機UX-1 シリーズ | EV GroupEVG®6200 NT |
|---|---|---|
| 露光方式 | マスクアライナー（一括露光） | ソフト／ハード／バキュームコンタクト・プロキシミティ |
| 光源 | 超高圧 UV ランプ（ihg 線・Deep UV） | UV（フラッドエクスポージャー） |
| 主要用途 | 化合物・パワー・MEMS などのパターン形成 | MEMS・化合物半導体・パワー・バンプ形成（最大 200 mm） |
1機種だけが掲載している項目（3件）
| 解像度 | L/S 1 µm（真空ハードコンタクト） | — |
|---|---|---|
| 販売状況 | 生産終了（後継としてマニュアル機を案内） | — |
| 関連機種 | — | EVG6200 NT Gen2（フルハウジング）／EVG620 NT |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •MEMS・センサー
- •SAW／BAW フィルター・RF デバイス
- •パワー半導体・LED
掲載カテゴリ
UX-1 シリーズは次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-07