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ウシオ電機

産業用・半導体製造向け光源装置の日本大手。UV・DUV露光光源、ランプ式露光装置、UV硬化システムを手がける光技術の総合メーカー。

🌐 日本装置メーカー公式サイト

当サイトでの位置づけ

Semiraiの露光・UV硬化カテゴリでは、ランプ式露光光源・UV/DUV光源ユニットを通じてリソグラフィ補助装置・フォトレジスト硬化プロセスの供給元として参照されます。

企業の強み

半導体露光用水銀ランプ・エキシマランプで国内トップ
UV硬化・表面処理向け光源の幅広いラインナップ
Christie Digital買収によるプロジェクタ・映像事業も展開

主要製品・ソリューション

露光光源

  • 超高圧水銀ランプ
  • エキシマランプ

UV硬化装置

  • UV照射システム

関連装置カテゴリ

DUV露光装置(光源)
i線ステッパー(光源)
リソグラフィ装置

📊 半導体製造装置メーカーの世界シェア&カオスマップ

ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、ウシオ電機を含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。

関連用語

露光(リソグラフィ)とは →フラッシュランプアニール(FLA)とは →スパイクアニールとは →

同じトピックの用語

イオン注入・熱処理 のトピックで関連する用語です。

イオン注入とは →イオン注入とは →アニール(熱処理)とは →急速熱処理(RTP)とは →拡散炉とは →熱処理(半導体製造)とは →熱バジェットとは →ドーパント活性化とは →

同じトピックの企業

Applied Materials米国Axcelis Technologies米国住友重機械イオンテクノロジー日本日新イオン機器日本PSK Holdings韓国Kokusai Electric(国際電気)日本

比較・違いを学ぶ

レーザーアニールとRTP(急速熱処理)の違い
RTP(Rapid Thermal Processing)はハロゲンランプで基板全体を数秒〜数十秒で1000°C以上に急速加熱するのに対し、レーザーアニール(L
イオン注入と熱拡散の違い(不純物導入プロセスの比較)
イオン注入(Ion Implantation)は不純物(ドーパント)をイオン化・加速して基板に物理的に打ち込む方法で、ドーズ量と加速エネルギーにより濃度と接合深
スパイクアニールとフラッシュランプアニールの違い
イオン注入したドーパントを活性化するには高温が要りますが、高温に留まればドーパントが拡散して接合が深く広がってしまいます。この矛盾をどう解くかが活性化アニールの
ビームライン式イオン注入とプラズマドーピングの違い
どちらもウェハにドーパントを打ち込む手法ですが、イオンの届け方が根本的に違います。ビームライン式は「選別したイオンを一本のビームにして走査する」、PLADは「プ
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