比較最後更新 2026年10月8日

東京威力科創與應用材料的差異

東京威力科創(TEL)與應用材料(AMAT)和艾司摩爾(ASML)、科林研發(Lam Research)、科磊(KLA)並列為全球半導體製造設備廠商前5大。兩者常被一併歸類為廣泛經營曝光機以外各種前段製程設備的「綜合廠商」,但按產品來看,強項的分布明顯不同。以下比較營收規模與設備產品組合,整理兩家在哪些領域各有所長、又在哪些領域互相競爭。

Verdict結論

最大的差異在於「同樣是綜合設備廠商,強項設備的組合卻不同」。應用材料(美國)以營收規模而言是全球規模數一數二的設備廠商,產品涵蓋PVD、CVD、磊晶等薄膜沉積,以及CMP、離子佈植、電子束覆檢與檢測等廣泛製程,尤其在導線薄膜沉積、CMP與離子佈植居於強勢地位。東京威力科創(日本)在塗佈顯影設備(塗佈機/顯影機,包括EUV用)擁有壓倒性市佔率,在介電層蝕刻、立式爐的熱處理與薄膜沉積、清洗以及晶圓針測機也具有相當份量。塗佈顯影與CMP、離子佈植方面兩家並不重疊,但在蝕刻與薄膜沉積則正面競爭。

主要差異

東京威力科創(TEL)與應用材料(AMAT)依比較面向比較
比較面向東京威力科創(TEL)應用材料(AMAT)
總部日本・東京都港區美國・加州聖塔克拉拉
成立1963年1967年
營收規模參考約2.4兆日圓(2025年3月期)約284億美元(2025年10月期)
招牌設備塗佈顯影設備(塗佈機/顯影機)以PVD為主的薄膜沉積設備、CMP設備
蝕刻在介電層蝕刻相對較強以導體蝕刻為主
薄膜沉積立式爐(熱處理・CVD・ALD)、單晶圓CVD・ALD全面涵蓋PVD・CVD・ALD・磊晶
清洗擁有單晶圓與批次清洗設備非主力業務
CMP・離子佈植未經營兩者皆為主要供應商
檢測・測試晶圓針測機(晶圓測試)電子束覆檢與檢測設備
曝光機未經營(供應與曝光機連線的塗佈顯影設備)未經營(供應曝光後的圖案檢測與量測設備)

強項設備重疊程度出乎意料地少

兩家雖然都被列為綜合設備廠商,但按設備來看,強項的分布是互補的。TEL的招牌是與曝光機連線、進行光阻塗佈與顯影的塗佈顯影設備,在EUV曝光用途上幾乎處於獨佔地位。AMAT並未經營這個領域。反之,AMAT市佔率高的CMP設備與離子佈植設備,TEL則沒有。在導線製程上,AMAT強在形成阻障金屬與銅晶種層的PVD,TEL則在使用立式爐的熱處理與薄膜沉積擁有長年實績。同樣是前段製程,兩家擅長的製程分布在不同位置。

正面競爭的蝕刻與薄膜沉積

兩家正面交鋒的是蝕刻與薄膜沉積。在蝕刻領域,包括科林研發在內的3家公司佔了市場大半,大致區分為TEL在蝕刻氧化膜、氮化膜的介電層蝕刻相對較強,AMAT則在蝕刻矽與金屬的導體蝕刻相對較強。在薄膜沉積的CVD・ALD領域,除兩家之外還有科林研發與ASM International加入,針對GAA電晶體與3D NAND新需要的各種薄膜爭取採用。先進節點製程步驟越多的領域競爭越激烈,這裡的採用狀況左右兩家的業績。

撤回的合併案

兩家在2013年宣布合併。若實現將誕生全球最大的設備廠商,但美國司法部表達了對競爭的疑慮,合併案於2015年撤回。問題在於,在蝕刻與薄膜沉積等兩家互相競爭的製程中,合併會使客戶的選擇變少。這段經過顯示兩家產品雖然互補,但在主要製程上仍激烈競爭。AMAT之後在2019年宣布收購日本薄膜沉積設備廠商KOKUSAI ELECTRIC(當時的國際電氣),但未能取得中國主管機關同意,於2021年放棄。

業務結構的差異

AMAT除了半導體製造設備外,還有負責設備維護、零組件與升級的服務業務,以及顯示器製造設備業務。TEL同樣以半導體製造設備佔營收大半,另有平面顯示器製造設備業務,以及負責維護與改裝的現場解決方案(Field Solutions)業務。兩家的中國營收比重都高,同樣容易受到美國出口管制加強的影響。會計年度方面,TEL在3月、AMAT在10月下旬結算,即使同樣稱為「2025年度」,涵蓋期間也相差半年以上,需要留意。

總結(如何比較)

比較兩家時,與其看整體營收,不如看「在哪些製程的設備較強」更符合實際。微影周邊的塗佈顯影、介電層蝕刻、熱處理以TEL為主,導線薄膜沉積、CMP、離子佈植則以AMAT為核心供應商。蝕刻與CVD・ALD是兩家加上科林研發的競爭領域,採用情形依節點與製程而異。

常見問題

東京威力科創與應用材料哪一家規模較大?
以營收規模而言,應用材料較大。AMAT 2025年10月期營收約284億美元,TEL 2025年3月期營收約2.4兆日圓,雖然視匯率而定,但AMAT的規模約為TEL的1.5倍以上。不過兩家會計年度不同,要嚴格比較需對齊期間。
兩家有生產曝光機嗎?
兩家都沒有生產曝光機。曝光機是艾司摩爾、尼康、佳能的領域。TEL經營與曝光機連線使用的塗佈顯影設備,AMAT則經營檢測與量測曝光後圖案的設備。
蝕刻設備哪一家較強?
蝕刻設備市場以科林研發為最大廠,TEL與AMAT緊追在後。一般認為TEL在介電層蝕刻、AMAT在導體蝕刻相對較強,定位依製程而不同。
兩家的合併為什麼沒有實現?
2013年宣布的合併案,因美國司法部擔心會損害蝕刻與薄膜沉積等市場的競爭,於2015年撤回。

延伸閱讀


所屬主題