最後更新:2026年10月8日基礎概念半導體物理・晶體基礎中國大陸:声子

聲子(晶格振動)是什麼

Phonon

聲子是將晶體中原子集體振動的晶格振動當作粒子來處理的概念。在半導體中,它會散射電子與電洞,是降低室溫遷移率的主要因素,在矽這類間接能隙半導體的光吸收與發光中也不可或缺。熱也是由聲子傳遞,與微細元件的自熱效應以及以拉曼光譜量測應力都有關。

目錄4 項
  1. 定義與原理
  2. 常見問題
  3. 相關用語
  4. 比較文章

定義與原理

聲子(Phonon)是將晶體中原子集體振動的晶格振動,以量子力學方式當作粒子來處理的概念。名稱源自「聲音」(phone),對應於光的粒子「光子(photon)」而命名。晶體中的原子彼此像以彈簧相連般結合,其振動以具有不連續能量的波在晶體中傳遞。聲子分為相鄰原子朝同方向運動的聲學聲子,以及朝相反方向運動的光學聲子。

聲子對半導體的電性有很大影響。電子與電洞會與聲子碰撞而改變行進方向(被散射),因此在室溫的矽中,這種聲子散射是決定遷移率的主要因素之一,溫度升高時聲子增加,遷移率便下降。此外,在矽這類間接能隙半導體中,吸收光使電子躍遷時,需要聲子協助以滿足動量守恆,這正是其光吸收與發光較弱的原因。熱也由聲子傳遞,決定了矽的熱傳導係數(室溫下約150W/m・K)。

在元件與量測方面也會出現聲子。在微細電晶體或奈米片(nanosheet)中,表面與介面的聲子散射使熱不易散逸,造成自熱效應引起的特性劣化與可靠度問題。在高介電常數(High-k)閘極絕緣層中,膜內的振動會散射通道中的電子(遠程聲子散射),成為遷移率下降的原因。在量測方面,則利用光學聲子使光波長產生微小偏移的拉曼散射,由矽峰值(約520cm⁻¹)的偏移,以非破壞方式量測晶體所受的應力與應變。

聲子(晶格振動)的常見問題

什麼是聲子散射?
電子或電洞與晶體的晶格振動(聲子)碰撞,而改變行進方向或能量的現象。溫度越高聲子越多、散射也越多,因此在室溫附近的矽中,遷移率會隨溫度上升而下降。與雜質散射並列為決定遷移率的主要因素。
為什麼拉曼光譜可以量測應力?
在拉曼散射中,光與晶體的光學聲子交換能量,會射出波長略為偏移的光。晶體受到應變時,原子間鍵結的強度改變,聲子的振動頻率也隨之偏移,因此可由矽約520cm⁻¹峰值的位置變化求得應力。

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