聲子(Phonon)是將晶體中原子集體振動的晶格振動,以量子力學方式當作粒子來處理的概念。名稱源自「聲音」(phone),對應於光的粒子「光子(photon)」而命名。晶體中的原子彼此像以彈簧相連般結合,其振動以具有不連續能量的波在晶體中傳遞。聲子分為相鄰原子朝同方向運動的聲學聲子,以及朝相反方向運動的光學聲子。
聲子對半導體的電性有很大影響。電子與電洞會與聲子碰撞而改變行進方向(被散射),因此在室溫的矽中,這種聲子散射是決定遷移率的主要因素之一,溫度升高時聲子增加,遷移率便下降。此外,在矽這類間接能隙半導體中,吸收光使電子躍遷時,需要聲子協助以滿足動量守恆,這正是其光吸收與發光較弱的原因。熱也由聲子傳遞,決定了矽的熱傳導係數(室溫下約150W/m・K)。
在元件與量測方面也會出現聲子。在微細電晶體或奈米片(nanosheet)中,表面與介面的聲子散射使熱不易散逸,造成自熱效應引起的特性劣化與可靠度問題。在高介電常數(High-k)閘極絕緣層中,膜內的振動會散射通道中的電子(遠程聲子散射),成為遷移率下降的原因。在量測方面,則利用光學聲子使光波長產生微小偏移的拉曼散射,由矽峰值(約520cm⁻¹)的偏移,以非破壞方式量測晶體所受的應力與應變。