遷移率(載子遷移率,mobility)是表示半導體中電子或電洞受電場作用時移動難易程度的物性值,單位為 cm²/V·s。遷移率越高,載子移動越快,電晶體的運作速度也越高。
矽的電子遷移率約為 1,400cm²/V·s,電洞約為 450cm²/V·s,電子較快。化合物半導體 GaAs、GaN 以及鍺通道的遷移率高,用於高頻・高速元件。應變矽技術與 HEMT 是提高遷移率以提升元件效能的代表例。
遷移率會因雜質散射與晶格振動(聲子)散射而降低,摻雜濃度越高、溫度越高,遷移率往往越小。在元件設計上,如何抑制遷移率下降是提升效能的關鍵。
提高遷移率的代表性技術,包括對矽晶體施加應變以改變能帶結構的應變矽,以及利用異質接面將電子與雜質分離的 HEMT。以鍺通道或 III-V 族化合物半導體作為通道的研究,也以藉由提高遷移率實現高速化為目標。