PRISM 是空氣化工產品（Air Products）的現場型氣體製造設備系列，在客戶工廠的廠區內製造高純度氮氣，並以管線供應。
空氣化工產品已於 2019年簽約，向韓國 MEMC 新建的 300mm 矽晶圓廠交付 PRISM 高純度氮氣現場製氣設備。也在馬來西亞檳城的半導體工廠設置了 PRISM 深冷式製氮設備。
用於半導體組裝工序，以及記憶體產品的低溫測試等。
PRISM的特點與規格
空氣化工產品（Air Products）・大宗氣體（N2/O2/Ar）
空氣化工產品（Air Products）在客戶工廠內製造高純度氮氣的現場（on-site）製氣設備。有供應 300mm 晶圓廠與半導體組裝廠的實績。
產品概要
主要規格
| 供應方式 | 現場製氣（深冷分離式等） |
|---|---|
| 氣體種類 | 高純度氮氣（HPN） |
| 主要用途 | 晶圓廠・組裝工序・記憶體的低溫測試 |
規格依廠商公開資料整理，實際規格與選配請以廠商資料為準。
主要特點
在工廠廠區內製造高純度氮氣（HPN）
也有深冷分離式製氮設備
有供應晶圓廠・組裝廠的實績
主要用途
- 矽晶圓廠的氮氣供應
- 半導體組裝工序
- 記憶體產品的低溫測試
製造商
空氣化工產品（Air Products）（總部：美國）