PRISM（オンサイト窒素発生装置）
顧客の工場内で高純度窒素をつくる Air Products のオンサイト発生装置。300mm ウェハ工場や半導体組立工場への納入例がある。
PRISMとは
PRISM は、Air Products のオンサイト型ガス発生装置のシリーズです。顧客の工場の敷地内で高純度窒素をつくり、配管で供給します。
Air Products は、韓国 MEMC の新しい 300mm シリコンウェハ工場に PRISM の高純度窒素オンサイト発生装置を納入する契約を 2019年に結んでいます。マレーシア・ペナンの半導体工場にも PRISM の深冷式窒素発生装置を設置しました。
半導体の組立工程や、メモリ製品の低温試験などに使われています。
主な特長
- •工場敷地内で高純度窒素（HPN）を発生
- •深冷分離式の窒素発生装置もある
- •ウェハ工場・組立工場への納入実績
主な仕様
| 供給方式 | オンサイト発生（深冷分離式など） |
|---|---|
| ガス種 | 高純度窒素（HPN） |
| 主要用途 | ウェハ工場・組立工程・メモリの低温試験 |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の製品が掲載している項目を並べています。
| 項目 | Air ProductsPRISM（オンサイト窒素発生装置） | エア・リキード（Air Liquide）大型オンサイト窒素・アルゴンプラント | 大陽日酸（Taiyo Nippon Sanso）高純度窒素・アルゴン供給システム |
|---|---|---|---|
| 供給方式 | オンサイト発生（深冷分離式など） | オンサイト深冷分離プラント／ローリー | オンサイトプラント／液化ローリー |
| 主要用途 | ウェハ工場・組立工程・メモリの低温試験 | ファブ全体のユーティリティガス | 装置パージ・搬送・熱処理雰囲気 |
| 対象ガス | — | 窒素・酸素・アルゴン・ヘリウム | 窒素・アルゴン・ヘリウム・水素 |
| 純度の目安 | — | 6N ～ 7N（用途による） | 99.9999% 以上 |
| 付帯設備 | — | バックアップ液化タンク・純化器 | 純化器・分析計・遠隔監視 |
1製品だけが掲載している項目（1件）
| ガス種 | 高純度窒素（HPN） | — | — |
|---|
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •シリコンウェハ工場の窒素供給
- •半導体組立工程
- •メモリ製品の低温試験
掲載カテゴリ
PRISMは次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
Air Products
産業ガス・特殊ガスの世界大手。半導体向けにはWF₆・NF₃・GeH₄・特殊エッチングガスなど、成膜・エッチング・クリーニングの全工程を支える。
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-06