最後更新:2026年10月23日ALD/CVD 前驅物

NOWPak的特點與規格

英特格(Entegris)・ALD/CVD 前驅物

在硬質外容器中放入柔軟內袋(liner)的英特格(Entegris)化學品容器・供應系統。在充填・運輸・供應期間,以密閉路徑保護化學品免受外部污染。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

NOWPak 是英特格(Entegris)的內袋式化學品容器・供應系統。採用在硬質外容器中放入柔軟內袋(liner)的結構,在充填・運輸・供應期間保護化學品。

由容器、密閉蓋(closure)與各種分配接頭組成。化學品以密閉路徑從內袋送至設備,因此能防止來自外部的污染。

用於大量運送超高純度化學品,或將其安全運送至使用端、保存並供應。也適合希望減少容器內殘液的高價前驅物。

主要規格

結構內袋(liner)+外容器+封蓋+分配接頭
方式以密閉路徑供應
主要用途超高純度化學品・前驅物的運輸・保存・供應

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

內袋+外容器的內袋式結構
以密閉路徑防止外部污染
多樣的分配接頭

主要用途

  • 超高純度化學品的運輸・保存・供應
  • ALD/CVD 用前驅物的供應

製造商

英特格(Entegris)(總部:美國)

所屬設備分類

相關用語

英特格(Entegris)的其他機型

資料來源

  1. 英特格(Entegris)官方產品頁面:Entegris