NOWPak（ライナー式薬液容器・供給システム）

硬い外容器の中に柔らかい内袋（ライナー）を入れた Entegris の薬液容器・供給システム。充填・輸送・供給の間、密閉された経路で薬液を外部の汚染から守る。

NOWPakとは

NOWPak は、Entegris のライナー式の薬液容器・供給システムです。硬い外容器の中に柔らかい内袋（ライナー）を入れた構造で、充填・輸送・供給のあいだ薬液を守ります。

容器、密閉キャップ（クロージャー）、各種のディスペンスコネクタで構成されます。薬液は内袋から装置まで密閉された経路で送られるため、外部からの汚染を防げます。

超高純度の薬液を大量に、あるいは使用箇所まで安全に運び、保管し、供給するために使われます。容器内の残液を減らしたい高価なプリカーサにも向いています。

構造	内袋（ライナー）＋外容器＋クロージャー＋ディスペンスコネクタ
方式	密閉経路による供給
主要用途	超高純度薬液・プリカーサの輸送・保管・供給

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

NOWPakは次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。

ALD/CVD前駆体材料（プリカーサー）は、原子層堆積（ALD）および化学気相成長（CVD）プロセスにおいて薄膜を形成するための出発原料です。

半導体材料インテグリティ管理の専業企業。ウェハキャリア（FOUP）・CMPスラリー・超純水フィルタ・ガス精製器など汚染制御製品でNo.1クラスのシェア。