T3B 是 MKS 的高速排氣節流閥。將控制・通訊・驅動電路整合於閥體，省去了獨立的壓力控制器。
內建微控制器與 DeviceNet，以自我調諧功能與步進馬達直接驅動控制腔體壓力。用於半導體與薄膜製程。
T3B 高速排氣節流閥的特點與規格
MKS Instruments・壓力控制器・流量計
將控制・通訊・驅動電路整合於節流閥，省去獨立壓力控制器的 MKS 設備。
產品概要
主要規格
| 控制對象 | 腔體壓力（排氣側節流控制） |
|---|---|
| 構成 | 節流閥＋微控制器＋DeviceNet |
| 特點 | 自我調諧・步進馬達直接驅動 |
| 主要用途 | 半導體・薄膜製程的壓力控制 |
規格依廠商公開資料整理，實際規格與選配請以廠商資料為準。
主要特點
控制器一體型節流閥
自我調諧
支援 DeviceNet
主要用途
- 腔體壓力控制
製造商
MKS Instruments（總部：美國）