PGM 系列是 CKD 的製程氣體用調壓閥(減壓閥)。用於半導體製造設備與藥液供應設備,將氣體壓力調整為一定值後供應。
設定壓力範圍為 -0.07~0.7MPa,機型從 PGM-30V(-0.07~0.21MPa)到 PGM-100(0~0.7MPa)。流量依機型為 20L/min、50L/min、200L/min。備有含真空對應的 -V 型,以及大流量的 -H・-2H 型在內共 10 種機型。
以最佳化的閥座設計實現高密封性,並以精密加工將壓力遲滯抑制得很小。具備微小流量的穩定控制與高重複性,有助於製程穩定化。