最後更新:2026年10月23日壓力控制器・流量計

PGM 系列的特點與規格

CKD・壓力控制器・流量計

採用金屬膜片的 CKD 製程氣體用調壓閥。從單品配管到整合型皆可對應。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

PGM 系列是 CKD 的製程氣體用調壓閥(減壓閥)。用於半導體製造設備與藥液供應設備,將氣體壓力調整為一定值後供應。

設定壓力範圍為 -0.07~0.7MPa,機型從 PGM-30V(-0.07~0.21MPa)到 PGM-100(0~0.7MPa)。流量依機型為 20L/min、50L/min、200L/min。備有含真空對應的 -V 型,以及大流量的 -H・-2H 型在內共 10 種機型。

以最佳化的閥座設計實現高密封性,並以精密加工將壓力遲滯抑制得很小。具備微小流量的穩定控制與高重複性,有助於製程穩定化。

主要規格

控制對象供應氣體壓力(負壓 ~ 0.7 MPa)
構成金屬膜片式調壓閥(20 ~ 200 L/min)
特點高密封性・微小流量的穩定控制
主要用途前段製程的製程氣體供應

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

設定壓力 -0.07~0.7MPa
流量 20/50/200L/min
高密封性・壓力遲滯小
含真空對應・大流量型共 10 種機型

主要用途

  • 半導體製造設備(前段製程)的製程氣體減壓
  • 藥液供應設備

製造商

CKD(總部:日本)

所屬設備分類

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資料來源

  1. CKD 官方產品頁面:CKD PGM