T3B 高速排気スロットルバルブとは
T3B は、MKS の高速排気スロットルバルブです。制御・通信・駆動の回路をバルブに一体化し、別体の圧力制御器を不要にしました。
マイコンと DeviceNet を内蔵し、自己チューニング機能とステッピングモーターの直接駆動でチャンバーの圧力を制御します。半導体や薄膜のプロセスで使われます。
主な特長
- •制御器一体型のスロットルバルブ
- •自己チューニング
- •DeviceNet 対応
主な仕様
| 制御対象 | チャンバー圧力（排気側スロットル制御） |
|---|---|
| 構成 | スロットルバルブ＋マイコン＋DeviceNet |
| 特徴 | 自己チューニング・ステッピングモーター直接駆動 |
| 主要用途 | 半導体・薄膜プロセスの圧力制御 |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | MKS InstrumentsT3B 高速排気スロットルバルブ | CKDPGM シリーズ（プロセスガス用レギュレータ） |
|---|---|---|
| 制御対象 | チャンバー圧力（排気側スロットル制御） | 供給ガス圧力（負圧 ～ 0.7 MPa） |
| 構成 | スロットルバルブ＋マイコン＋DeviceNet | メタルダイアフラム式レギュレータ（20 ～ 200 L/min） |
| 特徴 | 自己チューニング・ステッピングモーター直接駆動 | 高シール性・微小流量の安定制御 |
| 主要用途 | 半導体・薄膜プロセスの圧力制御 | 前工程のプロセスガス供給 |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •チャンバー圧力制御
掲載カテゴリ
T3B 高速排気スロットルバルブは次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
MKS Instruments
ガス流量制御・圧力制御・RFパワー・プラズマ源など、半導体製造プロセスを支えるサブシステム機器の主要メーカー。Newport光学部門も保有。
圧力コントローラ・流量計のほかの製品
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出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-07