GE50A 是 MKS G 系列的數位控制質量流量控制器（MFC）。是在半導體製造設備中精密控制製程氣體流量的零組件，支援多氣體・多量程。
流量支援 5～50,000sccm。以最新的 MKS 控制演算法，在整個控制範圍內對設定值取得快速且高再現性的響應。典型響應時間約 500 毫秒，穩定時間低於 750 毫秒，以數位校正在校正氣體下達到設定值 1% 的精度。
通訊可從 RS485、Profibus、EtherCAT、PROFINET、DeviceNet 的數位 I/O，以及 0～5VDC・4～20mA 的類比 I/O 中選擇。密封件與閥塞可從 Viton、Buna、Neoprene、Kalrez 中選擇，關閉時的洩漏率標準為低於滿量程的 0.1%。