壓力控制器・流量計是什麼
壓力控制器・流量計，是用於將供應給設備的氣體或藥液壓力保持一定，並監測流量的機器群。在氣體系統中，以調壓器與壓力控制器穩定供應壓力，建立MFC正確運作的前提條件。在腔體端，結合壓力計與自動壓力控制閥維持製程壓力；在藥液系統中，則以超音波式或差壓式流量計監測清洗・CMP設備的供應量。接液部的材質與低發塵性，是抑制微粒與金屬污染的關鍵。
重點整理
將氣體・藥液的供應壓力保持一定並監測流量的機器群
供應壓力穩定是MFC控制精度的前提條件
腔體壓力以壓力計與自動壓力控制閥維持
藥液系統使用超音波式・差壓式流量計，接液部材質很重要
常見問題
壓力控制器與調壓器有什麼不同？
調壓器是以彈簧與膜片機械式地使二次側壓力保持一定的減壓閥。壓力控制器則以壓力感測器與電子控制閥，能對設定值以更高精度且遠端控制壓力。
藥液用流量計有哪些方式？
有從管路外部量測的超音波式、從孔口前後壓力差求出的差壓式、葉輪式等。在半導體用途中，一般使用發塵與金屬溶出少的氟樹脂製接液部。