Baratron 627H 是 MKS Instruments 的加熱型(45°C)絕對壓力電容式壓力計。將隔膜的撓曲量測為靜電容量的變化,不受氣體種類影響,直接量測全壓。用於半導體製造設備製程腔體的壓力量測。
溫度控制在 45°C,精度為讀值的 0.12%。以改良的溫控電子電路提高長期穩定性與重現性。滿刻度從 20mTorr(0.02Torr)到 25,000Torr 一應俱全,可精密量測低壓。
接氣部全部採用耐腐蝕的 Inconel,專利的一體式集塵槽(sump)結構可保護感測器免受微粒影響。具備 0~10VDC 類比輸出,並可選配顯示加熱器與溫度狀態的 LED・開關。為前身 627F 的後繼機。