最後更新:2026年10月23日真空計・壓力控制器

Baratron 627H的特點與規格

MKS Instruments・真空計・壓力控制器

加溫至 45 ℃的絕對壓力電容式壓力計。不受氣體種類影響,直接量測全壓。為前代機型 627F 的後繼機。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

Baratron 627H 是 MKS Instruments 的加熱型(45°C)絕對壓力電容式壓力計。將隔膜的撓曲量測為靜電容量的變化,不受氣體種類影響,直接量測全壓。用於半導體製造設備製程腔體的壓力量測。

溫度控制在 45°C,精度為讀值的 0.12%。以改良的溫控電子電路提高長期穩定性與重現性。滿刻度從 20mTorr(0.02Torr)到 25,000Torr 一應俱全,可精密量測低壓。

接氣部全部採用耐腐蝕的 Inconel,專利的一體式集塵槽(sump)結構可保護感測器免受微粒影響。具備 0~10VDC 類比輸出,並可選配顯示加熱器與溫度狀態的 LED・開關。為前身 627F 的後繼機。

主要規格

量測方式電容式壓力計(45 ℃加溫)
量測範圍滿刻度 0.02 ~ 25,000 Torr
特點精度為讀值的 0.12%・接氣部為 Inconel
主要用途製程腔體的壓力量測

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

45°C 溫度控制、精度為讀值的 0.12%
滿刻度 0.02~25,000Torr
全 Inconel 接氣部、一體式集塵槽
不受氣體種類影響的全壓直接量測

主要用途

  • 製程腔體的壓力量測・控制

製造商

MKS Instruments(總部:美國)

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資料來源

  1. MKS Instruments 官方產品頁面:MKS 627H