中古の半導体製造装置は、新品より早く安く導入できる一方、装置の状態や引き渡し後の保守を自分で見極める必要があります。価格だけで選ぶと、整備や欠品の調達、立ち上げの遅れで、結果的に高くつくこともあります。この記事では、購入前に確認しておきたい項目を順番に整理します。装置の種類ごとの確認点は、種類別のページにまとめています。
ポイント
- 比べるのは本体価格ではなく「使える状態にするまでの総額」
- 装置の出どころ・用途・撤去と保管の方法で、状態の見当がつく
- 欠品・ソフトウェアのライセンス・保守と部品供給は、価格以上に重要
- 設置先のユーティリティと法令（ガス・排水・安全）を先に確認する
- 検収の条件と不具合時の負担を、契約の段階で決めておく
1. どこで何に使われていた装置か
最初に、装置がどの工場で、どの工程・材料に使われていたかを確認します。量産ラインで定期的に保守されていた装置と、研究用で長く止まっていた装置では、状態も必要な整備も違います。撤去の方法（メーカーや専門業者による撤去か）、撤去後の保管場所と期間（空調のある倉庫か）も、真空部品や電子部品の劣化に関わるため確認しておきます。前工程で使う場合は、以前に扱っていた材料による汚染の持ち込みにも注意が要ります。
2. 現状品か、整備済みの再生品か
中古装置には、撤去したままの現状品と、販売者が整備・検査した再生品（リファービッシュ品）、装置メーカーが自社の基準で再生した認定中古があります。現状品は安い代わりに整備と立ち上げを買い手が負担し、再生品や認定中古は保証が付くことが多い代わりに高価です。自社や協力会社に整備の技術があるかどうかで、どちらが合うかが決まります。
3. 欠品・ソフトウェア・保守
付属品や交換部品の欠品は、旧型機ほど調達が難しくなります。購入前に部品リストと照らし合わせ、足りないものと入手方法を確認します。装置制御ソフトのライセンスが新しい所有者へ移転できるか、メーカーの保守契約を結べるか、純正部品の供給が続いているか（生産終了・EOLになっていないか）も重要です。保守の担い手が見つからない装置は、故障したときに止まったままになります。
4. 設置条件と法令
装置を置くには、電源・冷却水・純水・ガス・排気・排水などのユーティリティと、床の耐荷重や搬入経路が必要です。CVD装置のように可燃性・毒性ガスを使う装置では、除害装置やガス検知器の設置、高圧ガスに関する手続きが必要になることがあります。装置本体の費用だけでなく、これらの設備工事の費用と期間も見込んでおきます。
5. 輸出入と検収
海外から買う、または海外へ売る場合は、外為法に基づくリスト規制に該当するかを確認する該非判定が必要です。装置を受け取ったら、契約で決めた項目と条件で検査し、合格をもって検収とします。会社どうしの売買では、受け取った物を遅滞なく検査し、不具合を見つけたら直ちに売主へ通知する必要があるため（商法第526条）、検査の項目と期限を事前に決めておくことが大切です。
関連ページ
よくある質問
中古装置を買うときに一番大事なことは何ですか？
中古装置は現地で確認すべきですか？
出典・参考資料
- e-Gov法令検索（デジタル庁）「民法（明治二十九年法律第八十九号）」（2026/10/23 確認）
- e-Gov法令検索（デジタル庁）「商法（明治三十二年法律第四十八号）」（2026/10/23 確認）
- KLA「KLA Pro Systems | Certified & Remanufactured」（2026/10/23 確認）
- Lam Research「Reliant Systems」（2026/10/23 確認）
- 経済産業省「該非判定／貨物・技術のマトリクス表について」（2026/10/23 確認）
- 経済産業省「安全保障貿易管理の概要」（2026/10/23 確認）