メーカー認定中古装置とは、半導体製造装置のメーカー自身が、使用済みの自社装置を買い取ったり引き取ったりして再生し、自社の基準で検査・認定したうえで販売する中古装置のことです。中古装置の専門商社が扱う装置と違い、元の設計を持つメーカーが部品の交換や調整を行い、性能を確かめてから出荷するため、保証や引き渡し後の保守を受けやすいのが特徴です。
需要の中心は、パワー半導体・イメージセンサー・RF・アナログ・MEMSなど、200mm以下のウェーハや成熟ノードで作られるデバイスです。こうした分野では最新世代の装置より前の世代の装置のほうが技術的にも経済的にも合うことが多く、メーカーは旧世代機の再生品に加え、200mmと300mmの両方に対応できる装置や性能向上のアップグレードも提供しています。
専門商社の装置より価格は高くなりますが、ソフトウェアのライセンスを正規に移転でき、メーカーの保守契約を結びやすい点が量産ラインでは重視されます。一方で、扱うのはそのメーカーの装置だけなので、複数メーカーの装置を比べて探す場合は専門商社と併用するのが一般的です。
