装置の種類から探すUsed Equipment by Type
中古の半導体製造装置を、装置の種類から探すためのページです。中古で探されることが多いのは、露光装置(ステッパー・マスクアライナー)、ダイシングソー、プローバー、ワイヤーボンダー、ダイボンダー、スパッタ・CVD・エッチング装置、CMP装置、SEMです。装置の種類によって、中古で確認すべき点は大きく違います。露光装置なら光源とレンズ、ダイシングソーならスピンドル、プローバーならチャックの温度範囲とプローブカードとの接続、成膜・エッチング装置なら使っていたガスや材料と排ガス処理の条件が要点になります。各ページに購入時の確認点と、その種類を扱う中古装置業者をまとめています。
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中古のCMP装置は、ウェーハ表面を化学的・機械的に研磨して平坦にする装置で、成熟ノードのラインの増設や、旧型機の更新で探されます。
企業 8 社中古CVD装置中古のCVD装置は、ガスを反応させてウェーハ上に絶縁膜やシリコン膜を成膜する装置で、200mm以下の成熟ノードのラインや研究開発で使われます。
企業 8 社中古ダイシングソー(ダイサー)中古のダイシングソー(ダイサー)は、後工程の増設や研究開発、電子部品の切断用途で探される装置です。
企業 11 社中古ダイボンダー・フリップチップボンダー中古のダイボンダー・フリップチップボンダーは、切り分けたチップを基板やリードフレームに搭載・接合する装置です。
企業 12 社中古エッチング装置中古のエッチング装置は、成熟ノードのラインの増設、MEMSや化合物半導体の加工、研究開発で探されます。
企業 11 社中古マスクアライナー中古のマスクアライナーは、大学や企業の研究開発、MEMSや化合物半導体の小規模な生産でよく探される装置です。
企業 7 社中古プローバー中古のプローバーは、ウェーハ状態のチップに針を当てて電気特性を測るための装置で、量産のウェーハテストだけでなく、研究開発やデバイス評価でも多く探されます。
企業 14 社中古SEM(走査電子顕微鏡)中古のSEM(走査電子顕微鏡)は、試料の表面を電子線で観察する装置で、研究開発、品質管理、故障解析で広く探されます。
企業 13 社中古スパッタ装置中古のスパッタ装置は、金属や絶縁膜を成膜するための真空装置で、量産ラインの増設のほか、研究開発や電子部品の成膜で多く探されます。
企業 11 社中古ステッパー・露光装置中古のステッパー(縮小投影露光装置)は、200mm以下のウェーハで作るパワー半導体・MEMS・センサー・アナログなどのラインで、旧型機の増設や置き換えに使われています。
企業 10 社中古ワイヤーボンダー中古のワイヤーボンダーは、チップの電極とリードフレームや基板を細い金属線でつなぐ装置で、後工程の増設、パワーデバイスやセンサーのパッケージング、研究開発の試作で探されます。
企業 10 社重要ポイント
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