SEMICONDUCTOR EQUIPMENT

工場設備メーカー5社

ファブ設備は、半導体工場の安定稼働を支える電力・超純水（UPW）・特殊ガス・薬液・排気・排水処理などの総合インフラ設備群です。24時間365日の連続運転を前提に、高純度化・高信頼性・高効率性が求められます。特に超純水（10⁻¹⁸レベルの不純物制御）、特殊ガス供給、排ガス処理（スクラバー）、廃液処理は歩留まりと環境負荷の両面で重要で、エネルギー消費も工場全体の大部分を占めるため、省エネ化と排出物削減が先端ファブ設計の主要テーマです。

メーカー 5 社関連カテゴリ 4 件

主要特徴

電力・超純水（UPW）・特殊ガス・薬液・排気・排水の総合インフラ

24時間連続運転を前提とした高純度・高信頼性設計

超純水は不純物10⁻¹⁸レベルの超高純度を実現

排ガス処理（スクラバー）・廃液処理が環境規制対応の要

消費エネルギーは工場全体の相当部分を占め、省エネ化が重要課題

代表製品・スペック

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ダイフク

Launer AMHS（工場搬送システム）

ダイフクのファブ全体を対象とした自動搬送システム。前工程・後工程間の物流自動化を実現。

対応エリア	クリーンルーム前工程・後工程・倉庫
搬送速度	最大 4 m/s（OHT）
管理システム	MCS（Material Control System）統合対応
通信規格	SEMI E84・SEMI E87 準拠
主要用途	半導体ファブ全体の物流自動化

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村田機械（Muratec）

Shuttle AMHS（工場搬送）

村田機械の工場内搬送自動化システム。ウェハキャリアの高速・高精度自動搬送でファブの生産効率を向上。

搬送方式	レール走行型 + OHT 組み合わせ
搬送速度	最大 3 m/s
対応キャリア	FOUP・SMIF Pod・オープンカセット
位置決め精度	±2 mm 以内
主要用途	クリーンルーム内プロセス間ウェハ搬送

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Entegris

ChemAlert（薬液供給システム）

Entegrisのウルトラピュア薬液・ガス供給システム。プロセス装置への超高純度化学品供給を管理する。

対応薬液	HF・H₂SO₄・H₂O₂・NH₄OH・各種有機溶剤
純度管理	金属不純物 < 1 ppb 以下
流量精度	±1% 以内
配管材質	PVDF・PFA・ステンレス
主要用途	洗浄・エッチング・CMP工程への薬液供給

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※ スペックは公開情報に基づく参考値です。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。