工場設備メーカー5社
ファブ設備は、半導体工場の安定稼働を支える電力・超純水（UPW）・特殊ガス・薬液・排気・排水処理などの総合インフラ設備群です。24時間365日の連続運転を前提に、高純度化・高信頼性・高効率性が求められます。特に超純水（10⁻¹⁸レベルの不純物制御）、特殊ガス供給、排ガス処理（スクラバー）、廃液処理は歩留まりと環境負荷の両面で重要で、エネルギー消費も工場全体の大部分を占めるため、省エネ化と排出物削減が先端ファブ設計の主要テーマです。
主要特徴
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | ダイフク自動搬送システム（AMHS） | 村田機械（Muratec）自動搬送システム（AMHS） |
|---|---|---|
| 構成 | 天井搬送・自動倉庫・コンベア | 天井搬送・保管装置 |
| 主要用途 | ファブ内の物流自動化 | ファブ内の FOUP 搬送 |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
代表製品・スペック
自動搬送システム（AMHS）
ダイフクのクリーンルーム向け自動搬送・保管システム。天井搬送や自動倉庫で FOUP などの搬送を自動化する。
| 構成 | 天井搬送・自動倉庫・コンベア |
| 主要用途 | ファブ内の物流自動化 |
自動搬送システム（AMHS）
村田機械のクリーンルーム向け自動搬送・保管システム。
| 構成 | 天井搬送・保管装置 |
| 主要用途 | ファブ内の FOUP 搬送 |
※ スペックは公開情報に基づく参考値です。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
メーカー
5社の主要メーカー
半導体FAB向けAMHS（自動搬送システム）の世界的リーダー。OHT、Stockerなどのクリーンルーム搬送システムで24時間365日の高信頼性稼働を実現。
- •半導体FAB向けAMHSで世界トップシェア
- •24時間365日連続稼働の高信頼性システム
半導体ファブ向けAMHS（OHT・ストッカー）と後工程実装周辺装置を手掛ける総合メーカー。Daifukuと並ぶクリーンルーム搬送の主要プレーヤー。
- •OHT（天井搬送システム）で世界トップクラスのシェア
- •ストッカー・自動倉庫との統合ソリューション
半導体材料インテグリティ管理の専業企業。ウェハキャリア（FOUP）・CMPスラリー・超純水フィルタ・ガス精製器など汚染制御製品でNo.1クラスのシェア。
- •半導体用CMPスラリー・研磨材料のグローバルトップ（CMC Materials統合後）
- •超純水・薬液フィルタで世界最高水準の汚染管理
半導体ウェハ搬送・保管自動化の老舗メーカー（旧Brooks Automation）。クリーンルーム向け搬送ロボット、300mmウェハポッド管理、バイオ試料保管も展開。
- •クリーンルーム向けウェハ搬送ロボットのグローバルリーダー
- •SMIF・FOUP対応300mmウェハ保管・管理システム
防振・除振を専門とする国内メーカー。空気ばね式やアクティブ制御式の除振装置、防振ゴムを供給し、露光装置や電子顕微鏡など振動に敏感な装置の設置環境を支える。
- •パッシブ・アクティブ両方式の除振装置
- •現地の振動測定から対策提案までの一貫対応
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