特許機器

ファブ設備は、半導体工場の安定稼働を支える電力・超純水（UPW）・特殊ガス・薬液・排気・排水処理などの総合インフラ設備群です。

ファブインフラ設備は、半導体製造装置本体の外側で、工場（ファブ）全体の稼働を支える基盤設備群を指します。

装置部品・サブシステムは、露光・エッチング・成膜・洗浄などの半導体製造装置を内部で構成する真空ポンプ・RF電源・ガス供給/流量制御（MFC）・石英/セラミック部品・ウェハキャリア（FOUP）・各種消耗部品などの総称です。