COMPANY DATABASE
特許機器
防振・除振を専門とする国内メーカー。空気ばね式やアクティブ制御式の除振装置、防振ゴムを供給し、露光装置や電子顕微鏡など振動に敏感な装置の設置環境を支える。
当サイトでの位置づけ
Semirai の装置部品・ファブインフラカテゴリでは、床振動を装置に伝えないための除振技術を担うメーカーとして位置づけられます。露光や計測の分解能を守る土台にあたります。
企業の強み
パッシブ・アクティブ両方式の除振装置
現地の振動測定から対策提案までの一貫対応
建屋レベルの防振設計にも対応
主要製品・ソリューション
除振装置
- •空気ばね式除振台
- •アクティブ除振装置
防振部材
- •防振ゴム
- •防振架台
関連装置カテゴリ
📊 半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ
ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、特許機器を含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。
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