Azenta（旧 Brooks Automation）

半導体ウェハ搬送・保管自動化の老舗メーカー（旧Brooks Automation）。クリーンルーム向け搬送ロボット、300mmウェハポッド管理、バイオ試料保管も展開。

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当サイトでの位置づけ

Semiraiのウェハ搬送・自動化カテゴリでは、ウェハ保管・搬送ロボット・低温保存の一貫ソリューションを提供する企業として参照されます。

企業の強み

クリーンルーム向けウェハ搬送ロボットのグローバルリーダー

SMIF・FOUP対応300mmウェハ保管・管理システム

バイオ試料低温保存（生命科学部門）との技術シナジー

主要製品・ソリューション

ウェハ搬送装置

•Atmospheric Robot
•Vacuum Robot

ウェハ保管システム

•FOUPストッカー
•300mm自動化システム

関連装置カテゴリ

ファブインフラ

ファブインフラ設備は、半導体製造装置本体の外側で、工場（ファブ）全体の稼働を支える基盤設備群を指します。

メーカー 10 社 AMHS（自動搬送システム）

AMHS（Automated Material Handling System）は、半導体ファブ内でFOUP（前開き統合ポッド）などにウェハを格納したまま、天井走行台車（OHT）・無人搬送車（AGV）・コンベアなどで自動搬送するシステムです。

メーカー 2 社

半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ

ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、Azenta（旧 Brooks Automation）を含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。

関連用語

AMHS（自動搬送システム）とは→ロードポートとは→EFEM（装置フロントエンドモジュール）とは→ストッカー（ウェハ自動保管装置）とは→

同じトピックの用語

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FOSB（ウェハ出荷容器）とは→OHT（天井走行式搬送車）とは→FOUP（フープ）とは→ウェハ搬送・自動化とは→パーティクル汚染（発塵管理）とは→クリーンルームとは→キュータイム（Q-Time）とは→ジョグ運転（JOG操作）とは→

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300mmウェーハと200mmウェーハの違い（コスト・用途・設備の比較）

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