排ガス処理装置（アバトメント）メーカー4社

半導体ファブ向け真空ポンプ・排気処理（アベートメント）システムの世界大手。ドライポンプ・ブースターポンプ・PFASフリー排ガス処理まで一貫提供し、ファブのインフラを支える。

• •ドライ真空ポンプで世界最大手
• •排気処理（アベートメント）システムに強み

半導体・FPD製造の排ガス処理装置メーカー。シラン・フッ素系ガス・PFCなどのプロセス排ガスを燃焼・プラズマ・湿式で無害化する除害装置（スクラバー）を供給する。

• •除害装置（スクラバー）の専業メーカー
• •燃焼式・プラズマ式・湿式の方式を網羅

CMP（化学機械研磨）装置と半導体製造用真空ポンプ・除害装置の大手。ポンプ・精密機械・環境事業を軸に、半導体製造インフラを幅広く支える。

• •CMPシステムで世界シェア上位。前工程の平坦化プロセスに不可欠
• •ドライ真空ポンプ・スクラバーでクリーンルームの排気・除害を担う

産業ガス・特殊ガスのグローバル大手メーカー。半導体製造に不可欠な高純度プロセスガス（成膜・エッチング用）とガス供給インフラを世界的に展開する。

• •特殊ガスでグローバルトップクラス
• •高純度ガス供給インフラに強み