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薬液供給システムメーカー5

薬液供給システム(Chemical Delivery System)は、ウェハ洗浄・エッチング・CMP・フォトレジスト塗布など前工程の各装置に、高純度薬液(HF・硫酸・SC-1/SC-2洗浄液・現像液など)を精密に計量・混合して供給するファブインフラ設備です。薬液の濃度・温度・流量・清浄度をリアルタイムで管理し、プロセス再現性と安全性を確保します。PFA・PVDFなど耐薬品性材料の供給配管と、タンクの漏洩検知・緊急遮断システムがEHS対応上重要です。ポイントオブユース(POU)ブレンディング方式により、多品種少量プロセスへの柔軟な対応と薬液廃棄量の削減を実現します。薬液品質の安定性が直接製造歩留まりに影響するため、センサー・制御システムとの統合管理が求められます。

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メーカー

5社の主要メーカー

Entegris米国

半導体材料インテグリティ管理の専業企業。ウェハキャリア(FOUP)・CMPスラリー・超純水フィルタ・ガス精製器など汚染制御製品でNo.1クラスのシェア。

CMPスラリー・パッド
Optima CMPスラリー研磨パッド
フィルタ・精製装置
超純水フィルタガス精製器
ウェハ搬送材料
FOUPウェハシッパー
  • 半導体用CMPスラリー・研磨材料のグローバルトップ(CMC Materials統合後)
  • 超純水・薬液フィルタで世界最高水準の汚染管理
CKD日本

空圧・流体制御機器の大手。半導体分野では超高純度ガス用バルブ、薬液用の耐薬品バルブ・ポンプ、ガスユニットを供給し、装置内の流体制御を支える。

流体制御機器
高純度ガスバルブ薬液用バルブ・ポンプガスユニット
  • 空圧機器と流体制御機器の総合ラインナップ
  • 半導体向け高純度・耐薬品バルブ
栗田工業日本

水処理・超純水製造装置の国内大手メーカー。半導体ファブ向けの超純水(UPW)製造システムを中心に、排水処理まで一貫した水処理ソリューションを提供する。

ファブインフラ設備
超純水製造装置(UPWシステム)排水処理システム
  • 超純水製造装置で国内トップクラス
  • 半導体ファブ向け水処理インフラに強み
Ultra Clean Holdings(UCT)米国

半導体製造装置向けサブシステム・部品・洗浄サービスのアウトソーシング専業企業。AMAT・Lam Research・ASMLなど大手OEMを主要顧客に持つ。

ガス供給サブシステム
ガスパネルガスボックス
チャンバー部品
プロセスキットリングアセンブリ
  • 主要装置OEM向けガス流路モジュールのトップサプライヤー
  • チャンバー部品の精密加工・洗浄再生サービス
エア・ウォーター日本

産業ガスを中核とする国内大手。窒素・酸素・水素などのバルクガスに加え、半導体プロセス向けの各種特殊ガスや、オンサイト供給設備・ガス供給配管システムを手掛ける。

産業ガス
高純度窒素水素アルゴン
特殊ガス・設備
半導体用特殊ガスオンサイト供給設備ガス供給配管
  • バルクガスと特殊ガスの両方を供給
  • オンサイト発生設備によるファブ向け供給体制

関連カテゴリ

排ガス処理装置(アバトメント)
クリーンルーム設備
工場設備
超純水製造システム

関連用語

薬液供給システム(CDS)とは →ファブインフラとは →クリーンルームとは →ウェハ搬送とは →ドライ真空ポンプとは →ターボ分子ポンプ(TMP)とは →クライオポンプとは →真空計とは →ゲートバルブ/スリットバルブとは →ロードロック室とは →マスフローコントローラ(MFC)とは →ガスボックス(ガスパネル)とは →

比較・違いを学ぶ

ドライ真空ポンプとターボ分子ポンプの違い
半導体製造装置の排気系は、大気圧から超高真空まで10桁以上の圧力範囲をカバーしなければなりません。単一のポンプでこれを賄うことはできないため、粗引きを担うドライ
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