SEMICONDUCTOR EQUIPMENT
薬液供給システムメーカー5社
薬液供給システム(Chemical Delivery System)は、ウェハ洗浄・エッチング・CMP・フォトレジスト塗布など前工程の各装置に、高純度薬液(HF・硫酸・SC-1/SC-2洗浄液・現像液など)を精密に計量・混合して供給するファブインフラ設備です。薬液の濃度・温度・流量・清浄度をリアルタイムで管理し、プロセス再現性と安全性を確保します。PFA・PVDFなど耐薬品性材料の供給配管と、タンクの漏洩検知・緊急遮断システムがEHS対応上重要です。ポイントオブユース(POU)ブレンディング方式により、多品種少量プロセスへの柔軟な対応と薬液廃棄量の削減を実現します。薬液品質の安定性が直接製造歩留まりに影響するため、センサー・制御システムとの統合管理が求められます。
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