薬液供給システムメーカー6社
薬液供給システム（Chemical Delivery System）は、ウェハ洗浄・エッチング・CMP・フォトレジスト塗布など前工程の各装置に、高純度薬液（HF・硫酸・SC-1/SC-2洗浄液・現像液など）を精密に計量・混合して供給するファブインフラ設備です。薬液の濃度・温度・流量・清浄度をリアルタイムで管理し、プロセス再現性と安全性を確保します。PFA・PVDFなど耐薬品性材料の供給配管と、タンクの漏洩検知・緊急遮断システムがEHS対応上重要です。ポイントオブユース（POU）ブレンディング方式により、多品種少量プロセスへの柔軟な対応と薬液廃棄量の削減を実現します。薬液品質の安定性が直接製造歩留まりに影響するため、センサー・制御システムとの統合管理が求められます。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | エア・ウォーター特殊ケミカル供給装置 | EntegrisFluoroPure® 容器／Sentry® クイックコネクト | KLAQuali-Line® Prima® 2 | KLAQualiSurf® |
|---|---|---|---|---|
| 主要用途 | 成膜装置等への高純度ケミカル供給 | バルク薬液の汚染なき供給 | 先端ノードの Cu めっき | — |
| 供給対象 | 特殊ケミカル（毒性・可燃・腐食性材料を含む） | 高純度液体薬液 | — | — |
| 構成 | 供給装置・蒸気量制御用の恒温槽ほか | フッ素樹脂容器・中間バルク容器・クイックコネクト | — | — |
| 方式 | — | — | オンライン薬液分析・管理 | オンライン薬液監視（15 以上の分析法） |
| 対象 | — | — | 銅ダマシンめっき液（低・超低・高 Cu 濃度） | FEOL・MOL・BEOL のウェットエッチング・洗浄 |
1機種だけが掲載している項目（1件）
| 特徴 | — | — | — | 自動校正・検証・自己診断 |
|---|
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
代表製品・スペック
特殊ケミカル供給装置
前工程や化合物半導体で使う特殊ケミカルを製造装置へ安全・安定に送る供給装置。ケミカルの性状に合わせた仕様をそろえる。
| 供給対象 | 特殊ケミカル（毒性・可燃・腐食性材料を含む） |
| 構成 | 供給装置・蒸気量制御用の恒温槽ほか |
| 主要用途 | 成膜装置等への高純度ケミカル供給 |
| 供給対象 | 高純度液体薬液 |
| 構成 | フッ素樹脂容器・中間バルク容器・クイックコネクト |
| 主要用途 | バルク薬液の汚染なき供給 |
| 方式 | オンライン薬液分析・管理 |
| 対象 | 銅ダマシンめっき液（低・超低・高 Cu 濃度） |
| 主要用途 | 先端ノードの Cu めっき |
| 方式 | オンライン薬液監視（15 以上の分析法） |
| 対象 | FEOL・MOL・BEOL のウェットエッチング・洗浄 |
| 特徴 | 自動校正・検証・自己診断 |
※ スペックは公開情報に基づく参考値です。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
メーカー
6社の主要メーカー
半導体材料インテグリティ管理の専業企業。ウェハキャリア（FOUP）・CMPスラリー・超純水フィルタ・ガス精製器など汚染制御製品でNo.1クラスのシェア。
- •半導体用CMPスラリー・研磨材料のグローバルトップ（CMC Materials統合後）
- •超純水・薬液フィルタで世界最高水準の汚染管理
空圧・流体制御機器の大手。半導体分野では超高純度ガス用バルブ、薬液用の耐薬品バルブ・ポンプ、ガスユニットを供給し、装置内の流体制御を支える。
- •空圧機器と流体制御機器の総合ラインナップ
- •半導体向け高純度・耐薬品バルブ
水処理・超純水製造装置の国内大手メーカー。半導体ファブ向けの超純水（UPW）製造システムを中心に、排水処理まで一貫した水処理ソリューションを提供する。
- •超純水製造装置で国内トップクラス
- •半導体ファブ向け水処理インフラに強み
半導体製造装置向けサブシステム・部品・洗浄サービスのアウトソーシング専業企業。AMAT・Lam Research・ASMLなど大手OEMを主要顧客に持つ。
- •主要装置OEM向けガス流路モジュールのトップサプライヤー
- •チャンバー部品の精密加工・洗浄再生サービス
産業ガスを中核とする国内大手。窒素・酸素・水素などのバルクガスに加え、半導体プロセス向けの各種特殊ガスや、オンサイト供給設備・ガス供給配管システムを手掛ける。
- •バルクガスと特殊ガスの両方を供給
- •オンサイト発生設備によるファブ向け供給体制
半導体検査・計測装置の世界的リーダー。AI駆動の欠陥検出と先進データ分析により、歩留まり向上とプロセス開発を加速。
- •検査・計測装置における世界的リーダー
- •AI・データ分析を統合した先端プロセスコントロール
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