当サイトでの位置づけ
Semiraiの材料インテグリティカテゴリでは、ウェハキャリア・CMPスラリー・フィルタ・ガス精製装置を通じてプロセス汚染防止の要として参照されます。
企業の強み
半導体用CMPスラリー・研磨材料のグローバルトップ（CMC Materials統合後）
超純水・薬液フィルタで世界最高水準の汚染管理
FOUP・ウェハシッパーなどウェハ保護材料で業界標準
主要製品・ソリューション
CMPスラリー・パッド
- •Optima CMPスラリー
- •研磨パッド
フィルタ・精製装置
- •超純水フィルタ
- •ガス精製器
ウェハ搬送材料
- •FOUP
- •ウェハシッパー
関連装置カテゴリ
関連用語
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