IRISYS-SXとは
IRISYS-SX は、ヒューグルエレクトロニクスの軟 X 線照射イオナイザ（除電装置）です。軟 X 線でガス分子を直接イオン化し、静電気を取り除きます。
製造装置の中にオーダーメイドで後付けでき、FPD や半導体の製造装置の静電気対策に使われます。
主な特長
- •軟 X 線による除電
- •製造装置内へのオーダーメイド後付け
主な仕様
| 除電方式 | 軟 X 線照射 |
|---|---|
| 特徴 | 製造装置内へのオーダーメイド後付け設置 |
| 主要用途 | FPD・半導体製造装置内の静電気対策 |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | 浜松ホトニクスフォトイオナイザ L12645 | ヒューグルエレクトロニクスIRISYS®-SX（軟 X 線照射イオナイザ） | シシド静電気BF-X2ME（WINSTAT） |
|---|---|---|---|
| 除電方式 | 軟 X 線照射（3 ～ 9.5 keV） | 軟 X 線照射 | コロナ放電（送風型・HDC-AC） |
| 特徴 | オゾン・発じん・電磁ノイズなし・送風不要 | 製造装置内へのオーダーメイド後付け設置 | 経時変化が少なく保守期間が長い |
| 主要用途 | クリーン環境での除電 | FPD・半導体製造装置内の静電気対策 | 装置組込み・作業台での除電 |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •FPD・半導体製造装置内の静電気対策
掲載カテゴリ
IRISYS-SXは次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
ヒューグルエレクトロニクス
半導体・フラットパネル製造関連機器のメーカー。ブロワー・ガン・バー型のイオナイザと静電気測定器、ウェハ用などの塵埃除去クリーナー、容器洗浄装置、BGテープ貼付装置やダイソーターなどの半導体組立関連装置を開発・製造する。
イオナイザ（静電気除去）のほかの製品
ヒューグルエレクトロニクスのほかの製品
関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-07